Влияние термообработки и металлизации поверхности на процесс открепления дислокаций от примесных центров в кристаллах кремния
Горидько Н.Я., Макара В.А., Новиков Н.Н., Стебленко Л.П.
Выставление онлайн: 19 апреля 1989 г.
Исследовано изменение динамического поведения дислокаций под влиянием термообработки образцов кремния и металлизации их поверхности. Определенные в работе параметры открепления дислокаций от центров их закрепления (энергия и активационный объем процесса открепления) свидетельствуют о том, что нанесение твердотельных покрытий на поверхность образцов кремния с введенными дислокационными петлями, а также дополнительная высокотемпературная термообработка образцов сопровождаются формированием вокруг дислокаций атмосфер комплексных дефектов, которые в значительной степени влияют на кинетику срыва дислокаций со стартовых положений и динамику их последующего движения.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.