Вышедшие номера
Кинетика распада твердого раствора фосфора в диффузионных слоях кремния
Александров О.В., Кютт Р.Н., Прохоров В.И., Сорокин Л.М.
Выставление онлайн: 19 сентября 1989 г.

С помощью рентгеновских и электрофизических методов, а также просвечивающей электронной микроскопии исследован распад твердого раствора фосфора в сильно легированных методом диффузии слоях кремния при температурах 500-700oC Кинетические зависимости изменения относительной деформации, электропроводимости и дефектности диффузионных слоев объясняются образованием выделений типа SiP главным образом из кластеров узельного электронеактивного фосфора. Процесс распада лимитируется ускоренной диффузией фосфора и сопровождается коалесценцией выделений и генерацией дислокационных петель, снимающих напряжения.