Кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди
Громов Д.Г.1, Гаврилов С.А.1, Редичев Е.Н.1, Аммосов Р.М.2
1Московский государственный институт электронной техники, Москва, Зеленоград, Россия
2Государственный исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Россия
Email: pcfme@dpts.miee.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2006 г.
Исследована кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди различной толщины. Показано, что плавление пленки возникает в локальных местах и далее область плавления распространяется фронтом. Установлено, что плавление пленки одной и той же толщины может наступать спустя разное время при различных температурах: от почти мгновенного при более высоких температурах до плавления в течение нескольких часов при более низких. Определена зависимость энергии активации процесса плавления-диспергирования от толщины пленки меди. Вид зависимости энергии активации объяснен с позиций гидродинамики. Рассмотрен механизм процесса плавления-диспергирования. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 05-03-32744-a, 05-08-01508-a). PACS: 61.46.+w, 64.70.Dv, 68.35.Md, 68.60.Dv
- Я.Е. Гегузин. Физика спекания. Наука, М. (1984). 311 с
- L.J. Lewis, P. Jensen, J.-L. Barrat. Phys. Rev. B 56, 2248 (1997)
- Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. Атомиздат, М. (1979). 264 с
- А.И. Гусев, А.А. Ремпель. Нанокристаллические материалы. Физматлит, М. (2001). 224 с
- R. Kofman, P. Cheyssac, Y. Lereah, A. Stella. Eur. Phys. J. D 9, 441 (1999)
- F. Celestini, R.J.-M. Pellenq, P. Bordarier, B. Rousseau. Z. Phys. D 37, 49 (1996)
- B.M. Patterson, K.M. Unruh, S.I. Shah. Nanostruct. Mater. 1, 65 (1992)
- Д.Г. Громов, С.А. Гаврилов, Е.Н. Редичев. ЖФХ 79, 1578 (2005)
- С.А. Кукушкин, Д.А. Григорьев. ЖТФ 65, 154 (1995)
- С.А. Кукушкин, Д.А. Григорьев, Д.А. Индейцев, О.В. Потапов, В.М. Фокин. ФХС 27, 377 (2001)
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Энергоатомиздат, М. (1991). 1232 с
- А.Е. Долбак, Р.А. Жачук, Б.З. Ольшанецкий. ФТП 35, 1063 (2001)
- Я.Е. Гегузин. В сб.: Поверхностная диффузия и растекание / Под ред. Я.Е. Гегузина. Наука, М. (1969). 386 с
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. Мир, М. (1982). 576 с
- В.Ф. Киселев, С.Н. Козлов, А.В. Зотеев. Основы физики поверхности твердого тела. Изд-во МГУ, М. (1999). 287 с
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теоретическая физика. Учеб. пособие для вузов. Т. VI. Гидродинамика. 5-е изд., испр. Физматлит, М. (2003). 731 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук