Смирнова И.А.1, Суворов Э.В.1, Шулаков Е.В.2
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: irina@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 10 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Экспериментально и методом компьютерного моделирования исследовались особенности формирования дифракционного изображения единичной краевой дислокации в условиях, когда область дефекта может быть размещена в различных участках треугольника рассеяния. Эксперимент включал в себя съемку дислокации на различных длинах волн и для разных отражений. Исследована геометрия дифракции, когда линия дислокации перпендикулярна поверхности образца, вектор Бюргерса параллелен или перпендикулярен вектору обратной решетки. На основании анализа экспериментальных данных и расчетных изображений сделаны выводы относительно симметрии изображений, углового разрешения и чувствительности метода секционной топографии к формированию изображения дислокации. Особое внимание уделено влиянию на контраст и размеры изображений длины волны излучения, модуля вектора обратной решетки и величины интерференционного поглощения. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 06-02-16536 и 06-02-17406). PACS: 61.10.Nz, 61.72.Ff, 61.72.Dd
- Э.В. Суворов, И.А. Смирнова, Е.В. Шулаков. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 9, 64 (2004)
- Е.В. Шулаков, И.А. Смирнова, Э.В. Суворов. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 7, 32 (1996)
- Е.В. Шулаков, И.А. Смирнова, Э.В. Суворов. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 1, 101 (2002)
- В.Л. Инденбом, Ф.Н. Чуховский. Кристаллография 19, 35 (1974)
- В.Л. Инденбом, И.Ш. Слободецкий. Кристаллография 19, 42 (1974)
- И.А. Смирнова, Е.В. Шулаков, Э.В. Суворов, О.П. Алежко-Ожевский. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 1, 99 (2000)
- A. Authier. Dynamical theory of X-ray diffraction. Oxford Science Publ. (2001)
- Э.В. Суворов, И.Л. Шульпина. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 7, 3 (2001)
- N. Kato. Acta Cryst. 14, 526; 627 (1961)
- З.Г. Пинскер. Рентгеновская кристаллооптика. Наука, М. (1982). 392 с
- S. Takagi. J. Phys. Soc. Jap. 26, 1239 (1969)
- D. Toupin. Acta Cryst. 23, 25 (1967)
- Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. Атомиздат, М. (1972). 598 с
- Y. Epelboin, P. Riglet. Phys. Stat. Sol. (a) 54, 547 (1979)
- В.Л. Инденбом, Ф.Н. Чуховский. УФН 107, 229 (1972)
- В.И. Альшиц, В.Л. Инденбом, И.А. Русакова. Кристаллография 22, 1157 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.