Вышедшие номера
Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния
Блонский И.В.1, Тхорик В.А.1, Цицилиано А.Д.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 10 июня 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.

Исследован акустический отклик монокристаллов кремния на воздействие импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности с длиной волны возбуждения 1.06 mum. Впервые обнаружено, что при сверхпороговой плотности потока энергии лазерного излучения, отвечающей режиму плавления поверхности, наблюдается дополнительное акустическое излучение, задержанное во времени по отношению к фотоакустическому отклику. Время задержки линейно зависит от мощности лазерного излучения и изменяется в интервале от единиц до десятков миллисекунд. На основании сопоставления параметров акустического излучения с динамикой развития термоупругих напряжений в зоне лазерного воздействия, а также с кинетикой плавления облучаемой поверхности образца показано, что источником дополнительного акустического излучения является процесс образования трещин под действием поля термоупругих напряжений.