Измерение тепловых свойств тонких диэлектрических пленок зондовым методом периодического нагрева. I. Теория метода
Кравчун С.Н.1, Давитадзе С.Т.1, Мизина Н.С.1, Струков Б.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 3 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.
Рассмотрены основы теории метода измерений тепловых свойств анизотропных твердых тел и нанесенных на них тонких диэлектрических пленок. Проведен анализ решений, позволяющий установить предельные возможности метода периодического нагрева и условия, которые необходимы для эксперимента, позволяющего проводить измерения теплоемкости и теплопроводности пленок с достаточной точностью.
- Л.П. Филиппов. Измерение теплофизических свойств веществ методом периодического нагрева. Энергоатомиздат, М. (1984)
- Л.П. Филиппов, С.Н. Кравчун, А.С. Тлеубаев. Измерительная техника, 12, 28 (1985)
- H.P. Philippov, S.N. Kravchun, A.S. Tleubaev. Compendium of Thermophysical Property Measurement Methods 2, Ch. 13, 375 (1992)
- N.O. Birge, S.R. Nagel. Rev. Sci. Instrum. 58, 8, 1464 (1987)
- S. Lee, S. Kwun. Rev. Sci. Instrum. 65, 4, 966 (1994)
- I.K. Moon, Y.H. Jeong, S.I. Kwun. Rev. Sci. Instrum. 67, 1, 29 (1996)
- D.G. Cahill. Rev. Sci. Instrum. 61, 2, 802 (1990)
- D.J. Bae, T.Y. Koo, K.B. Lee, Y.H. Jeong, S.M. Lee, S.I. Kwun. Ferroelectrics 159, 91 (1994)
- S.-M. Lee, S.M. Lim, S.-I. Kwun, H. Jeong Yoon. Solid State Commun. 88, 5, 361 (1993)
- P.K. Dixon. Phys. Rev. B42, 13, 8179 (1990)
- Г.Б. Двайт. Таблицы интегралов и другие математические формулы. Наука, М. (1966)
- Справочник по специальным функциям / Под ред. М. Абрамовица и И. Стигана. Атомиздат, М. (1976)
- Физические величины. Справочник / Сост. А.П. Бабичев, Н.А. Бабушкина и др.; Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Энергоатомиздат, М. (1991)
- О.А. Сергеев, А.Г. Шашков. Теплофизика оптических сред. Наука и техника, Минск (1983)
- И.Г. Кожевников, Л.А. Новицкий. Теплофизические свойства материалов при низких температурах. Справочник. Машиностроение, М. (1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.