Спектры рамановского рассеяния и электропроводность тонких пленок кремния со смешанным аморфно-нанокристаллическим фазовым составом: определение объемной доли нанокристаллической фазы
Голубев В.Г.1, Давыдов В.Ю.1, Медведев А.В.1, Певцов А.Б.1, Феоктистов Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.
Исследованы рамановские спектры и электропроводность тонких пленок гидрогенизированного кремния со смешанным аморфно-нанокристаллическим фазовым составом. Показано, что интерпретация экспериментальных результатов в рамках теории протекания позволяет определить отношение интегральных поперечных сечений рамановского рассеяния нанокристаллической и аморфной фаз и провести количественную оценку объемной доли каждой фазы.
- L.T. Canham. Appl. Phys. Lett. 57, 10, 1046 (1990)
- S. Tong, X. Liu, L. Wang, F. Yan, X. Bao. Appl. Phys. Lett. 69, 5, 596 (1996)
- X. Liu, S. Tong, L. Wang, G. Chen, X. Bao. J. Appl. Phys. 78, 10, 6143 (1995)
- Y. He, C. Yin, G. Cheng, L. Wang, X. Liu, G.Y. Hu. J. Appl. Phys. 75, 2, 797 (1994)
- М. Кардона. В кн.: Рассеяние света в твердых телах / Под ред. М. Кардоны и Г. Гюнтеродта. Мир, М. (1984). В. 2. С. 35
- R.Tsu, J. Gonzalez-Hernandez, S.S. Chao, S.C. Lee, K. Tanaka. Appl. Phys. Lett. 40, 6, 534 (1982)
- E. Bustarret, M.A. Hachicha, M. Brunel. Appl. Phys. Lett. 52, 20, 1675 (1988)
- T. Hamasaki, H. Kurata, M. Hirose, Y. Osaka. Appl. Phys. Lett. 37, 12, 1084 (1980)
- C.C. Tsai. In: Amorphous Silicon and Related Materials / Ed. H. Fritzsche. World Scientific Publishing Company, Singapore--New Jersey--London--Hong Kong (1988). P. 123
- A.B. Pevtsov, V.Yu. Davydov, N.A. Feoktistov, V.G. Karpov. Phys. Rev. B52, 2, 955 (1995)
- A.T. Voutsas, M.K. Hatalis, J. Boyce, A. Chiang. J. Appl. Phys. 78, 12, 6999 (1995)
- H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Solid State Commun. 39, 6, 625 (1981)
- L.H. Campbell, P.M. Fauchet. Solid State Commum. 58, 10, 739 (1986)
- Физика гидрогенизированного аморфного кремния / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Мир, М. (1987). Т. 1. 363 с
- V.K.S. Shante, S. Kirkpatrick. Adv. Phys. 20, 85, 325 (1971)
- D.J. Thouless. Phys. Rep. C13, 1, 95 (1974)
- J. Essam. Rep. Progr. Phys. 43, 7, 833 (1980)
- Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников. Наука, М. (1979). 416 с
- A. Bunde, S. Havlin. In: Fractals and Disordered Systems / Ed. A. Bunde and S. Havlin. Springer-Verlag, Berlin--Heidelberg--N.Y.--Paris--Tokyo--Hong Kong--Budapest (1987). P. 97
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.