Теоретический анализ распределения примесей в кристаллическом кремнии
Пономарев К.В.1, Коржавый П.А.1, Векилов Ю.Х.1
1Московский государственный институт стали и сплавов, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 3 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.
Представлены расчеты полной энергии примесей кислорода и углерода в кремнии при T=0 K. Определено равновесное положение точечных дефектов при малых (10-3-10-2 at.%) концентрациях.
- В.И. Фистуль. Амфотерные примеси в полупроводниках. Металлургия, М. (1992)
- F. Beeler, M. Scheffler, O. Jepsen, O. Gunnarsson. Phys. Rev. Lett. 54, 23, 2525 (1985); Ю.Х. Векилов, О.И. Горбатов, М.Ю. Лашкевич, А.В. Рубан. ФТТ 36, 2, 301 (1994)
- R.W. Jansen, O.F. Sankey. Phys. Rev. B 39, 5, 3192 (1989); J.E. Northrup, S.B. Zhang. Phys. Rev. B 47, 11, 6791 (1993)
- К.В. Пономарев, П.А. Коржавый, Ю.Х. Векилов. ФТТ 39, 2, 264 (1997)
- O. Gunnarsson, O. Jepsen, O.K. Andersen. Phys. Rev. B 27, 12, 7144 (1983)
- A.V. Ruban, J.A. Abrikosov, H.L. Skriver. Phys. Rev. B 51, 19, 12958 (1995)
- J. Perdew, A. Zunger. Phys. Rev. B 23, 10, 5048 (1981)
- P.A. Korzhavyi, A.V. Ruban, J.A. Abrikosov, H.L. Skriver. Phys. Rev. B 51, 9, 5773 (1995)
- В.С. Вавилов, В.Ф. Кисилев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности. Наука, М. (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
