Рентгеноспектральное исследование деградации межфазовой границы Au/Si на воздухе
Шулаков А.С.1, Брайко А.П.1
1Институт физики при Санкт-Петербургском государственном университете, Петродворец, Россия
Поступила в редакцию: 10 января 1997 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1997 г.
Исследована зависимость от энергии первичных электронов формы ультрамягких рентгеновских SiL2,3- и AuN6,7-эмиссионных полос в структурах Au/Si, взаимодействующих с кислородом воздуха. Использовалась методика количественной оценки фазового химического состава и его распределения по глубине, основанная на анализе формы полос и использующая самую общую интегральную форму зависимости интенсивности рентгеновских спектров от энергии первичных электронов. Обнаружено, что процесс окисления вызывает диффузию атомов кремния к поверхности и приводит к кардинальному изменению фазового состава исследованных структур. Характерной особенностью строения всех образцов становится появление на их поверхности относительно толстого слоя SiO2, толщина которого зависит от начального фазового состава интерфейса Au/Si.
- L. Braicovich, C.M. Garner, P.R. Skeath, C.Y. Su, P.W. Chye, I. Lindau, W.E. Spicer. Phys. Rev. B20, 5131 (1979)
- L. Braicovich, I. Abbati, J.N. Miller, I. Linday, S. Schwarz, P.R. Skeath, C.Y. Su, W.E. Spicer. J. Vac. Sci. Technol. 17, 1005 (1980)
- O. Bisi, C. Calandra, L. Braicovich, Iabbati, G. Rossi, I. Lindau, W.E. Spicer. J. Phys. C. Sol. Stat. Phys. 15, 4707 (1982)
- K. Hricovini, J.E. Bonnet, B. Carriere, J.P. Deville, M. Hanbuecken, G. Le Lay. Surf. Sci. 211/212, 630 (1989)
- J.-J. Yeh, J. Hwang, R. Cao, K.A. Berness, I. Lindau. J. Vac. Sci. Technol. A6, 1557 (1988)
- M. Twami, M. Kabota, T. Kogama, H. Tochihara, Y. Murata. Phys. Rev. B38, 1047 (1988)
- J. Derrien, G. Le Lay, F. Salwau. Phys. Rev. Lett. 39, L287 (1978).
- В.К. Адамчук, И.В. Любинецкий, А.М. Шикин. Письма в ЖТФ 12, 1056 (1986)
- M. Hanbuecken, G. Le Lay. Surf. Sci. 168, 122 (1986)
- S.L. Molodtsov, C. Laubschat, G. Kaindl, A.M. Shikin, V.K. Adamchuk. Phys. Rev. B44, 8850 (1991)
- J.-J. Yeh, J. Hwang, K. Bertness, D.J. Friedman, R. Cao, I. Linday. Phys. Rev. Lett. 70, 3768 (1993)
- A. Hiraki, M.A. Nicolet, J.W. Mayer. Appl. Phys. Lett. 18, 178 (1970)
- A. Hiraki. Surf. Sci. Rep. 3, 357 (1984)
- L.C. Feldman, J.W. Mayer. Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis. North Holland, N.Y.--Amsterdam--London (1986). 350 p
- A.S. Shulakov. Cryst. Res. Technol. 23, 835 (1988)
- А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физика, химия, механика, 1, 146 (1988)
- А.П. Лукирский, В.А. Фомичев, А.В. Руднев. В сб.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л. (1970). В. 9. С. 89
- В.И. Алавердов, А.П. Степанов, А.С. Шулаков. ПТЭ, 2, 102 (1992)
- И.А. Брытов, Ю.А. Ромашенко. ФТТ 20, 3, 664 (1978)
- С. Рид. Электронно-зондовый микроанализ / Пер. с англ. под ред. А.И. Козленкова. Мир, М. (1979). 410 с
- В.И. Лебедь, В.П. Афонин. В сб.: Рентгеновская и электронная спектроскопия. Изд-во АН СССР, Черноголовка (1985). С. 51--62
- А.С. Виноградов, Е.О. Филатова, Т.М. Зимкина. ФТТ 25, 4, 1120 (1983)
- R. Hensel, K. Radler, B. Sonntag, C. Kunz. Solid State Commun. 7, 1495 (1969)
- И.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. Вторичная электронная эмиссия. Наука, М. (1969). 407 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
