Вышедшие номера
Кинетика формирования дискретных наноструктур в процессе вакуумной конденсации из однокомпонентного пара
Иевлев В.М.1, Шведов Е.В.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: karl12@yandex.ru
Поступила в редакцию: 5 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2005 г.

Методом численного решения системы кинетических уравнений исследуется кинетика кластерообразования в процессе вакуумной конденсации тонких пленок. Получены графики распределения по размерам кластеров от единиц до нескольких сотен атомов. В координатах температура-скорость конденсации определены области преимущественного зарождения на активных центрах - точечных дефектах кристаллической подложки - и статистического зарождения и показана возможность разделения областей псевдослоевого и трехмерного (шероховатого) роста. Показано, что причиной экспериментально наблюдаемой двухмодальности распределения островков по размерам может быть различие в скоростях роста кластеров на стадии, предшествующей коалесценции. Работа поддержана грантом Министерства образования и науки РФ "Ведущие научно-педагогические коллективы". PACS: 68.03.Fg, 68.03.Hj