Исследование лазерно-индуцированного дефектообразования в кристаллах CdTe методом резерфордовского обратного рассеяния
Головань Л.А.1, Кашкаров П.К.1, Лакеенков В.М.2, Сосновских Ю.Н.1, Тимошенко В.Ю.1, Чеченин Н.Г.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Государственный институт редких металлов, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.
Методом резерфордовского обратного рассеяния изучены процессы образования дефектов в приповерхностном слое CdTe при импульсном лазерном облучении. Установлено, что формирование центров рассеяния происходит только при энергиях лазерного импульса, превышающих порог плавления поверхности образца. Определены пространственные распределения Cd и Te, а также структурных дефектов в облученном слое. Полученные данные интерпретируются с учетом интенсивного испарения одного из компонентов (Cd) материала.
- K. Zanio. Cadmium Telluride. V. 13. Semiconductors and Semimetals. N.Y.--San Francisco--London (1978). 235 p
- А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, Е.В. Нидаев, Л.С. Смирнов. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М. (1982). 208 с
- П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. Поверхность. Физика, химия, механика, 6, 5 (1995)
- P.D. Brewer, J.J. Zinck, G.L. Olson. Appl. Phys. Lett. 57, 24, 2526 (1990)
- В.Н. Бабенцов, А. Байдуллаева, А.И. Власенко, С.И. Горбань, Б.К. Даулетмуратов, П.Е. Мозоль. ФТП 27, 10, 1618 (1993)
- В.Н. Бабенцов, А. Байдуллаева, Б.М. Булах, С.И. Горбань, П.Е. Мозоль. Поверхность. Физика, химия, механика, 12, 144 (1988)
- В.В. Артамонов, М.Я. Валах, А.П. Литвинчук, В.В. Стрельчук. Поверхность. Физика, химия, механика, 1, 46 (1989)
- F.X. Wagner, K. Dhese, P.H. Key, D. Sands, S.R. Jackson, R. Kirbitson, J.E. Nicholls. Appl. Surf. Sci. 86, 364 (1995)
- И.Ю. Висковатых, В.М. Лакеенков, П.К. Кашкаров, В.И. Петров, В.Ю. Тимошенко, Ф.И. Хилинский. Изв. РАН. Сер. физ. 57, 9, 12 (1993)
- Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. Поверхность. Физика, химия, механика, 10, 65 (1995)
- Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, И.С. Ташлыков. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск (1987). 256 с
- Н.Г. Чеченин, Э.В. Монахов, К.К. Бурдель. ПТЭ, 3, 142 (1994)
- L.R. Doolitle. Nucl. Instr. Meth. B9, 344 (1985)
- Л.А. Головань, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. Письма в ЖТФ 21, 23, 26 (1995)
- P.K. Kashkarov, V.Yu. Timoshenko, N.G. Chechenin, A.N. Obraztsov. Laser Phys. 2, 5, 790 (1992)
- Таблицы физических величин / Под ред. И.К. Кикоина. М. (1976). 1008 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.