Сравнительный анализ дифракции Брэгга и Лауэ от сверхрешеток CdF2--CaF2 на Si (111)
Кютт Р.Н.1, Хилько А.Ю.1, Соколов Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.
Короткопериодные сверхрешетки (СР) с периодом от 7 до 22 nm выращены методом молекулярно-лучевой эпитаксии в системе CdF2-CaF2 на Si(111). Произведены рентгенодифракционные измерения полученных структур в различных геометриях отражения и прохождения, продемонстрировавшие возможность создания таких объектов с высоким кристаллическим совершенством. Рассмотрены особенности дифракции от СР со слоями, обладающими существенно различными дифрагирующими способностями и деформацией разного знака по отношению к подложке. Моделированием в полукинематическом приближении получены основные параметры выращенных СР. Показана применимость модели идеальной СР к объектам, имеющим структурные дефекты.
- V.S. Speriosu, T. Vreeland. J. Appl. Phys. 56, 1591 (1984)
- J. Kervarez, M. Baudet, J. Gaulet, P. Auvrey. J. Appl. Cryst. 17, 196 (1984)
- A.T. Macrander, G.P. Schwartz, G.J. Gualtieri. J. Appl. Phys. 64, 6733 (1988)
- T. Baumbach, H.-G. Bruhl, U. Pitsch, H. Terauchi. Phys. Stat. Sol. (a), 105, 197 (1988)
- H. Terauchi, S. Sekimoto, K. Kamigaki, H. Sakashita, N. Sano, H. Kato, M. Nakayama. J. Phys. Soc. Jap. 54, 4776 (1983)
- U. Pietch, H. Metzger, S. Rugel, B. Jenichen, J.K. Robinson. J. Appl. Phys. 74, 2381 (1993)
- K. Nakashima. J. Appl. Phys. 71, 1189 (1992)
- R.N. Kyutt, A.Yu. Khilko, N.S. Sokolov. Appl. Phys. Lett. 76, 1563 (1997)
- S.V. Novikov, N.N. Faleev, A. Izumi, A.Yu. Khilko, N.S. Sokolov, S.A. Solov'ev, K. Tsutsui. Abstracts of Int. Symp. Nanostructures: Physics and Technology, St.Petersburg, Russia (1995). P. 387--390
- R.N. Kyutt, P.V. Petrashen, L.M. Sorokin. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980)
- N.S. Sokolov, J.C. Alvarez, Yu.V. Shusterman, N.L. Yakovlev, R.M. Overney, Y. Itoh, I. Takahashi, J. Harada. Appl. Surf. Sci. 104/105, 402 (1995)
- A.Yu. Khilko, R.N. Kyutt, N.S. Sokolov, M.V. Zamoryanskaya, L.J. Schowalter, Yu.V. Shusterman. Inst. Phys. Conf. Ser., 155. Ch. 12, 1021 (1997); Paper presented at 23rd Int. Symp. Compound Semiconductors. St.Petersburg, Russia (Sept. 1996)
- P.F. Fewster. Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993)
- V.M. Kaganer, R. Koehler, M. Schmidt, R. Opitz, B. Jenihen. Phys. Rev. B55, 1793 (1997)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.