Радиационная проводимость квантоворазмерных кремниевых p+-n-переходов
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.2, Клячкин Л.Е.2, Маляренко А.М.2, Робозеров С.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.
Электронно-лучевая диагностика используется для изучения радиационной проводимости сверхмелких кремниевых p+-n-переходов, полученных в условиях неравновесной диффузии бора. Вольт-амперные характеристики (ВАХ) радиационной проводимости впервые демонстрируются как при обратном, так и прямом смещениях кремниевого p+-n-перехода, что стало возможным благодаря наличию самоупорядоченных поперечных квантовых ям внутри сверхмелкого p+-диффузионного профиля. Изменения ВАХ темнового тока в зависимости от дозы электронного облучения показывают, что формирование самоупорядоченных продольных квантовых ям внутри сверхмелких p+-диффузионных профилей способствует увеличению напряжения пробоя кремниевых p+-n-переходов.
- N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naeser. Def. Diffusion Forum 143--147, 1003 (1997)
- N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, W. Gehlhoff. Superlattices and Microstructures 23, 6, 1333 (1998)
- N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, W. Gehlhoff. Superlattices and Microstructures 23, 2, 338 (1998)
- N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, A.M. Malyarenko. Solid State Electronics 42, 7--8, 1199 (1998)
- W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids. Academic Press (1984). P. 63
- P.S. Zalm. Rep. Prog. Phys. 58, 1321 (1995)
- А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров. ФТП 32, 2, 137 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.