Вышедшие номера
Избыточный шум эпитаксиальных пленок YBa2Cu3O7 и микроболометры антенного типа на их основе
Бобыль А.В.1, Гаевский М.Э.1, Дедоборец А.И.2, Карманенко С.Ф.3, Леонов В.Н.4, Лунев А.В.1, Семенов А.А.3, Сурис Р.А.1, Хребтов И.А.4
1Физико-технический институт Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Государственный агроуниверситет, Днепропетровск, Украина
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
4Государственный оптический институт, Санкт-Петербург, Россия
Email: bobyl@theory.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 1 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1999 г.

Проведены модельные отжиги эпитаксиальных пленок YBa2Cu3O7 методом Монте-Карло и показано, что для актуальных диапазонов рабочих частот и температур преобладающими источниками их избыточного фликкер-шума являются переходы кислорода вблизи малоугловых границ блоков. Оптимизация технологий пленок и планарных микроструктур позволили достичь рекордно малой величины шумового параметра Хоуге (1.8x 10-4 при 93 K) на тестовых структурах, из которых могут быть изготовлены высококачественные полосковые микроболометры антенного типа. Расчеты показывают, что за счет достигнутого уменьшения размеров микрополоски до 1x 0.7 mum2 и снижения величины фликер-шума возможна регистрация излучения в диапазоне спектра 3 mm-300 mum (100-1000 GHz при 90 K с наносекундным быстродействием и электрической эквивалентной мощностью шума (NEP), равной 1.5x 10-12 W/Hz1/2 на частотах от 30 до 107 Hz, что близко к ограничению на уровне мощности фононного шума.