Вышедшие номера
Влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких дислокаций в кристаллах кремния
Островский И.В.1, Стебленко Л.П.1, Надточий А.Б.1
1Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина
Email: iostrov@genphys.ups.kiev.ua
Поступила в редакцию: 8 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Изучено влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких приповерхностных дислокаций в кристаллах кремния. Обнаружено, что ультразвуковая обработка кристаллов кремния приводит к изменению скорости перемещения дислокаций при постоянной механической нагрузке. При этом характер изменения скорости дислокаций определяется знаком внешних напряжений, действующих на образец, - сжимающие усилия приводят к уменьшению, а растягивающие - к увеличению скорости дислокаций. После воздействия на образцы кремния ультразвуковых колебаний наблюдается уменьшение энергии активации движения дислокаций и усиление электропластического эффекта. Обсуждается возможный механизм наблюдаемых явлений.