Получение наноостровков Ge ультрамалых размеров с высокой плотностью на атомарно-чистой поверхности окиси Si
Никифоров А.И.1, Ульянов В.В.1, Пчеляков О.П.1, Тийс С.А.1, Гутаковский А.К.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: nikif@isp.nsc.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.
Приведены экспериментальные результаты исследований начальных стадий роста пленки германия на атомарно-чистой окисленной поверхности кремния. Показано, что в данной системе рост пленки германия происходит в соответствии с механизмом Фольмера-Вебера. На окисленной поверхности кремния образуются упругонапряженные островки с латеральным размером менее 10 nm и плотностью 2·1012 cm-2. При толщинах пленки более 5 монослоев наряду с ними образуются островки германия с латеральными размерами до 200 nm и плотностью 1.5·109 cm-2, которые полностью срелаксированы. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 03-02-16468 и 03-02-16506) и INTAS (грант N 03-51-5051).
- D.J. Eaglesham, M. Cerullo. Phys. Rev. Lett. 64, 1943 (1990)
- A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, O.P. Pchelyakov. Thin Solid Films 336, 332 (1998)
- A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, Yu.Yu. Proskuryakov. J. Appl. Phys. 89, 5676 (2001)
- А.И. Якимов, А.В. Двуреченский, А.И. Никифоров, С.В. Чайковский, С.А. Тийс. ФТП 37, 1383 (2003)
- J.J. Lander, J. Morrison. J. Appl. Phys. 33, 2098 (1962)
- Y. Wei, M. Wallace, A.C. Seabaugh. J. Appl. Phys. 81, 6415 (1997)
- A.A. Shklyaev, M. Shibata, M. Ichikawa. Phys. Rev. B 62, 43, 1540 (2000)
- A. Barski, M. Derivaz, J.L. Rouviere, D. Buttard. Appl. Phys. Lett. 77, 3541 (2000)
- H. Watanabe, T. Baba. Appl. Phys. Lett. 74, 3284 (1999)
- A.I. Nikiforov, V.A. Cherepanov, O.P. Pchelyakov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Yakimov. Thin Solid Films 380, 158 (2000)
- А.И. Никифоров, В.В. Ульянов, О.П. Пчеляков, С.А. Тийс, А.К. Гутаковский. ФТТ 46, 80 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
