Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2001, выпуск 3 » Статья стр. 549
<<<>>>
Реактивная эпитаксия дисилицида кобальта на Si(111)
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Валдайцев Д.А.1, Фараджев Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2001 г.
PDF версия
Изучен механизм начальных стадий силицидообразования при нанесении Co в диапазоне 1-10 монослоев на нагретый кристалл Si(111) 7x 7. При получении структурных данных использовался оригинальный метод дифракции неупруго отраженных электронов средней энергии, отображающий атомное строение поверхностных слоев в реальном пространстве. Элементный состав анализируемой приповерхностной области исследовался методом электронной Оже-спектроскопии. Показано, что в условиях реактивной эпитаксии на Si(111) растет эпитаксиальная пленка CoSi2(111) B-ориентации. При этом на начальных стадиях нанесения кобальта (1-3 монослоя) реализуется островковая мода роста. Элементный состав поверхности пленки CoSi2(111) толщиной около 30 Angstrem такой же, как у объемного дисилицида кобальта, и она оканчивается триадой монослоев Si-Co-Si. Работа выполнена в рамках направления "Поверхностные атомные структуры" (проект N 5.10.99).
  1. L.J. Chen, K.N. Tu. Mater. Sci. Rep. 7, 53 (1991)
  2. S. Saitoh, H. Ishiwara, S. Furukawa. Appl. Phys. Lett. 37, 2, 203 (1980)
  3. C. Pirri, J.C. Peruchetti, G. Gewinner, J. Derrien. Phys. Rev. B29, 6, 3391 (1984)
  4. J. Dirrien. Surf. Sci. 168, 1, 171 (1986)
  5. S.A. Chambers, S.B. Anderson, H.W. Chen, J.H. Weaver. Phys. Rev. B34, 2, 913 (1986)
  6. F. Boschrini, J.J. Joyce, M.W. Ruckincn, J.H. Weaver. Phys. Rev. B35, 9, 4216 (1987)
  7. D.D. Chambliss, T.N. Rhodin, J.E. Rowe, H. Shigekawa. J. Vac. Sci. Technol. A7, 3, 2449 (1989)
  8. A. Bensaoula, J.Y. Veuillen, T.T.A. Nguyen. J. Derrien, M. De Crescenzi. Surf. Sci. 241, 3, 425 (1991)
  9. H. von Kanel. Mater. Sci. Rep. 8, 193 (1992)
  10. C.W.T. Bulle-Lieuwna. Appl. Surf. Sci. 68, 1, 1 (1993)
  11. N.I. Plusnin, A.P. Milenin, D.P. Prihodko. PLDS 9/10, 107 (1999)
  12. Y. Hayashi, M. Yoshinaga, H. Ikeda, S. Zaima, Y. Yasuda. Surf. Sci. 438, 1, 116 (1999)
  13. C.D. Anterroches. Surf. Sci. 168, 1, 751 (1986)
  14. R.T. Tung, J.L. Batstone. Appl. Phys. Lett. 52, 19, 1611 (1988)
  15. J. Derrien, M. De Crescenzi, E. Chainet, C. d'Anterroches, C. Pirri, G. Gewinner, J.C. Peruchetti. Phys. Rev. B36, 12, 6681 (1987)
  16. H. von Kanel, C. Schwarz, S. Gencalves-Conto. Phys. Rev. Lett. 74, 7, 1163 (1995)
  17. H. Fujitani, S. Asano. Phys. Rev. B50, 12, 8681 (1994)
  18. F. Arnaud, d' Avitayas, S. Delage, E. Rosencher, J. Derrien. J. Vac. Sci. Technol. B3, 2, 770 (1985)
  19. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.С. Фараджев. ЖЭТФ 110, 1 ( 7), 311 (1996)
  20. N.S. Faradzhev, M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin. Phys. Low-Dim. Struct. 3/4, 93 (1997)
  21. M. Erbudak, M. Hochstrasser, E. Wetli, M. Zurkirch. Surf. Rev. Lett. 4, 179 (1997)
  22. I.I. Pronin, M.V. Gomoyunova. Progr. Surf. Sci. 59, 1--4, 53 (1998)
  23. W.F. Egelhoff, jr. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 16, 213 (1990)
  24. S.C. Fadley. In: Synchrotron Radiation Research. Advances in Surface and Interface Science. V. 1.: Techniques / Ed. by R.Z. Bachrach. Plenum Press, N. Y. (1992). Ch. 9. P. 421
  25. S.A. Chambers. Surf. Sci. Rep. 16, 6, 261 (1992)
  26. C. Pirri, S. Hong, M.H. Tuilier, P. Wetzel, G. Gewinner, R. Cortes. Phys. Rev. B50, 3, 1368 (1996)
  27. И.И. Пронин, Д.А. Валдайцев, М.В. Гомоюнова, Н.С. Фараджев, А.Г. Банщиков. ЖТФ 68, 12, 80 (1998)
  28. A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
  29. И.И. Пронин, Н.С. Фараджев, М.В. Гомоюнова. ФТТ 39, 4, 752 (1997)
  30. D.R. Haman. Phys. Rev. Lett. 60, 4, 313 (1988)
  31. G. Rossi, A. Santaniello, P. De Padova, X. Jin, D. Chandesris. Europhys. Lett. 11, 3, 235 (1990)
  32. P.A. Bennet, D.G. Cahill, M. Copel. Phys. Rev. Lett. 73, 3, 452 (1994)
  33. F. Hellmann, R.T. Tung. Phys. Rev. B37, 18, 10 786 (1988)
  34. U. Starke, J. Schardt, W. Weib, G. Rangelov, Th. Fauster, K. Heinz. Surf. Rev. Lett. 5, 1, 139 (1998)
  35. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Phys. Low-Dim. Struct. 3/4, 113 (1997)
  36. D.D. Chambliss, T.N. Rhodin, J.E. Rowe. Phys. Rev. B45, 3, 1193 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme