Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Рентгеновский и люминесцентный анализ мелкодисперсных пленок beta-FeSi2, сформированных в Si импульсной ионной обработкой
Баязитов Р.М.1, Баталов Р.И.1, Теруков Е.И., Кудоярова В.Х.
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия 
Email: kudoyarova@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 8 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.
Мелкодисперсные пленки beta-FeSi2 сформированы путем имплантации монокристаллического Si ионами Fe+ с энергией 40 keV и дозой 1· 1016 cm-2 с последующей наносекундной ионно-импульсной обработкой. Результаты скользящей рентгеновской дифракции свидетельствуют о формировании сильно текстурированной пленки, состоящей из включений фазы силицида железа (beta-FeSi2) с размерами зерен около 40 nm, окруженных поликристаллической Si-матрицей. Данные фотолюминесцентной спектроскопии свидетельствуют о том, что сигнал фотолюминесценции с максимумом около 1.56 mum, наблюдающийся до 210 K, связан с прямыми межзонными переходами в beta-FeSi2, а не с вкладом дислокационной линии D1. Работа выполнена при поддержке НОЦ КГУ в рамках программы "Материалы и технологии XXI века" (BRHE REC-007), Российского фонда фундаментальных исследований в рамках программы (N 01-02-16649), а также госпрограммы МНРФ (проект N 9B 41.108Ф).
- G. Franzo, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, A. Carnera. Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994)
- W. Fuhs, I. Ulber, G. Weiser, M.S. Bresler, O.B. Gusev, A.N. Kuznetsov, V.Kh. Kudoyarova, E.I. Terukov, I.N. Yassievich. Phys. Rev. B56, 9545 (1997)
- A. Reittinger, J. Stimmer, G. Abstreiter. Appl. Phys. Lett. 70, 2431 (1997)
- H. Karsumata, Y. Makita, N. Kobayashi, H. Shibata, M. Hasegawa, I. Aksenov, S. Kimura, A. Obara, S. Uekusa. J. Appl. Phys. 80, 5955 (1996)
- K.J. Reeson, M.S. Finney, M.A. Harry, S.V. Hutchison, Y.S. Tan, D. Leong, T.R. Bearda, Z. Yang, G. Curello, K.P. Homewood, R.M. Gwilliam, B.J. Sealy. Nucl. Instr. Meth. B106, 364 (1995)
- M.G. Grimaldi, S. Coffa, C. Spinella, F. Marabelli, M. Galli, L. Miglio, V. Meregalli. J. Lumin. 80, 467 (1999)
- C. Spinella, S. Coffa, C. Bongiorno, S. Pannitteri, M.G. Grimaldi. Appl. Phys. Lett. 76, 173 (2000)
- K.P. Homewood, K.J. Reeson, R.M. Gwilliam, A.K. Kewell, M.A. Lourenco, G. Shao, Y.L. Chen, J.S. Sharpe, C.N. McKinty, T. Butler. Thin Solid Films 381, 188 (2001)
- K. Oyoshi, D. Lenssen, R. Carius, S. Mantl. Thin Solid Films 381, 194; 202 (2001)
- T. Suemasu, Y. Iikura, K. Takakura, F. Hasegawa. J. Lumin. 87--89, 528 (2000)
- T. Suemasu, Y. Negishi, K. Takakura, F. Hasegawa. Jpn. J. Appl. Phys. 39, L1013 (2000)
- B.O. Kolbesen, H. Cerva. Phys. Stat. Sol. (b) 222, 303 (2000)
- R. Hodgson, J.E.E. Baglin, R. Pal, J.M. Neri, D.A. Hammer. Appl. Phys. Lett. 37, 187 (1980)
- L.J. Chen, L.S. Hung, J.W. Mayer, J.E.E. Baglin, J.M. Neri, D.A. Hammer. Appl. Phys. Lett. 40, 595 (1982)
- R.M. Bayazitov, L.Kh. Zakirzyanova, I.B. Khaibullin, I.F. Isakov, A.F. Chachakov. Vacuum 43, 619 (1992)
- R.M. Bayazitov, L.Kh. Antonova, I.B. Khaibullin, G.E. Remnev. Nucl. Instr. Meth. B139, 418 (1998)
- R.M. Bayazitov, R.I. Batalov. J. Phys.: Cond. Matter 13, L113 (2001)
- M. Ferrari, L. Lutterotti. J. Appl. Phys. 76, 7246 (1994)
- Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма в ЖЭТФ 23, 11, 651 (1976)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
