Вышедшие номера
Структурные исследования монокристаллов Si1-xGex рентгенодифракционными методами
Аргунова Т.С.1, Гуткин М.Ю.2, Забродский А.Г.1, Сорокин Л.М.1, Трегубова А.С.1, Щеглов М.П.1, Абросимов Н.В.3, Je J.H.4, Yi J.M.4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Institute of Crystal Growth, Berlin, Germany
4Department of Materials Science and Engineering, Pohang University of Science and Technology, Pohang, Republic of Korea
Поступила в редакцию: 14 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Исследованы дефекты кристаллической структуры в монокристаллах твердых растворов Si1-xGex, 1-9 at.% Ge, выращенных методом Чохральского. Исследование проведено методами рентгеновской дифракционной топографии на лабораторном и синхротронном источниках излучения, рентгеновской дифрактометрией, а также синхротронной фазовой радиографией. Во всех исследованных кристаллах независимо от концентрации Ge наблюдались примесные полосы (полосы роста). Было показано, что увеличение концентрации Ge в интервале 7-9 at.% приводило к зарождению и скольжению дислокаций по нескольким системам кристаллографических плоскостей и образованию полос скольжения. В местах пересечения полос скольжения наблюдались области с локальной блочной структурой. Наиболее вероятной причиной образования полос скольжения было неоднородное распределение Ge как по диаметру слитка, так и по оси роста. Таким образом, структурное качество монокристаллов твердых растворов Si1-xGex может быть улучшено путем повышения степени однородности их состава. Работа выполнена в рамках программы "Низкоразмерные квантовые структуры" Президиума РАН (6.3).