Аргунова Т.С.1, Гуткин М.Ю.2, Забродский А.Г.1, Сорокин Л.М.1, Трегубова А.С.1, Щеглов М.П.1, Абросимов Н.В.3, Je J.H.4, Yi J.M.4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Institute of Crystal Growth, Berlin, Germany
4Department of Materials Science and Engineering, Pohang University of Science and Technology, Pohang, Republic of Korea
Поступила в редакцию: 14 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.
Исследованы дефекты кристаллической структуры в монокристаллах твердых растворов Si1-xGex, 1-9 at.% Ge, выращенных методом Чохральского. Исследование проведено методами рентгеновской дифракционной топографии на лабораторном и синхротронном источниках излучения, рентгеновской дифрактометрией, а также синхротронной фазовой радиографией. Во всех исследованных кристаллах независимо от концентрации Ge наблюдались примесные полосы (полосы роста). Было показано, что увеличение концентрации Ge в интервале 7-9 at.% приводило к зарождению и скольжению дислокаций по нескольким системам кристаллографических плоскостей и образованию полос скольжения. В местах пересечения полос скольжения наблюдались области с локальной блочной структурой. Наиболее вероятной причиной образования полос скольжения было неоднородное распределение Ge как по диаметру слитка, так и по оси роста. Таким образом, структурное качество монокристаллов твердых растворов Si1-xGex может быть улучшено путем повышения степени однородности их состава. Работа выполнена в рамках программы "Низкоразмерные квантовые структуры" Президиума РАН (6.3).
- N.V. Abrosimov, S.N. Rossolenko, V. Alex, A. Gerhardt, W. Schroder. J. Cryst. Growth 166, 657 (1996)
- R.H. Deitch, S.H. Jones, T.G. Digges, jr. J. Electron. Mater. 29, 9, 1074 (2000)
- A. Erko, N.V. Abrosimov, V. Alex. Cryst. Res. Technol. 37, 7, 685 (2002)
- N.V. Abrosimov, A. Ludge, H. Riemann, W. Schroder. J. Cryst. Growth 237--239, 356 (2002)
- O.V. Smirnova, V.V. Kalaev, Yu.N. Makarov, N.V. Abrosimov, H. Riemann. J. Cryst. Growth 266, 74 (2004)
- K. Wieteska, W. Wierzchowski, W. Graeff, M. Lefeld-Sosnowska, M. Regulska. J. Phys. D: Appl. Phys. 36, A133 (2003)
- N.V. Abrosimov, V. Alex, D.V. Dyachenko-Dekov, Yu.L. Iunin, V.I. Nikitenko, V.I. Orlov, S.N. Rosselenko, W. Schroder. Mater. Sci.\&Eng. A 234--236, 735 (1997)
- Ю.Л. Иунин, В.И. Никитенко, В.И. Орлов, Д.В. Дьяченко-Деков, Б.В. Петухов, Н.В. Абросимов, С.Н. Россоленко, W. Schroder. ЖЭТФ 121, 1, 129 (2002)
- I. Yonenaga. Mater. Sci.\&Eng. A 234--236, 559 (1997)
- D.K. Bowen, B.K. Tanner. High resolution X-ray diffractometry and topography. Taylor\&Francis, UK (1998). 250 p
- A. Snigirerv, I. Snigireva, V. Kohn, S. Kuznetsov, I. Schelokov. Rev. Sci. Instrum. 66, 12, 5486 (1995)
- P. Cloetens, R. Barrett, J. Baruchel, J.P. Guigay, M. Schlenker. J. Phys. D: Appl. Phys. 29, 133 (1996)
- G. Margaritondo, G. Tromba. J. Appl. Phys. 85, 7, 3406 (1999)
- P.F. Fewster, N.L. Andrew. J. Appl. Cryst. 28, 451 (1995)
- Р. Бернер, Г. Кронмюллер. Пластическая деформация монокристаллов. Мир, М. (1969). С. 33. [R. Berner, H. Kronmuller. Plastische Verformung von Einkristallen. Springer-Verlag (1965)]
- Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. Атомиздат, М. (1972). 600 с
- Ж. Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 644 с
- U. Bonse, W. Graeff. Naturf. 28a, 5, 558 (1973)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.