Вышедшие номера
Эффект структурирования гетероэпитаксиальных систем CdHgTe/CdZnTe при облучении ионами серебра
Сизов Ф.Ф.1, Савкина P.K.1, Смирнов А.Б.1, Удовицкая P.C.1, Кладько В.П.1, Гудименко А.Й.1, Сафрюк H.B.1, Литвин O.C.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: alex_tenet@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 5 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.

Методом рентгеновской дифрактометрии, а также атомной силовой и электронной микроскопии получены характеристики нарушенного слоя гетероструктур p-CdxHg1-xTe/CdZnTe (x~0.223) после имплантации ионами серебра с энергией 100 keV и дозой имплантации Q=3.0·1013 cm-2. Oбнаружено, что в результате ионной имплантации и последующего отжига (75oС) на поверхности образцов Hg(Cd)Te/Zn(Cd)Te формируется однородный массив наноструктур. Рентгеновские исследования спектров структурированного образца Hg(Cd)Te/Zn(Cd)Te указывают на образование в приповерхностной (<100 nm) области базового материала фаз поликристаллического Hg(Cd)Te кубической структуры c составом x~0.20, а также оксида Ag2O. Для объяснения наблюдаемых эффектов трансформации дефектно-примесной системы и структурирования поверхности гетероэпитаксиальной пленки узкозонного полупроводника привлекается деформационная модель.