Фазовое равновесие при образовании карбида кремния за счет топохимического превращения из кремния
Кукушкин С.А.1,2,3, Осипов А.В.1,2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 21 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2016 г.
Методами линейной алгебры найден базис из независимых химических реакций в системе топохимического превращения кремния в карбид кремния за счет реакции с монооксидом углерода. На основе этого базиса рассчитана фазовая диаграмма давление - поток, описывающая состав твердой фазы для конкретной конструкции вакуумной печи. Показано, что для роста чистого SiC необходимо обеспечивать давление монооксида углерода меньше определенного значения, а его поток - больше определенного значения, зависящих от температуры процесса. При расчете топохимической реакции впервые учтены упругие поля вокруг образующихся вакансий. Показано, что анизотропия этих полей в кубическом кристалле увеличивает константу основной реакции примерно в 4 раза. Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ (гранты N 15-0306155, 13-02-12040-офи-м).
- G. Kaupp. In: Making Crystal by Design / Ed. D. Braga, F. Greponi. Wiley-VCH, Weinheim (2007). P. 87
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 113, 024 909 (2013)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 56, 1457 (2014)
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313 001 (2014)
- В.Г. Дубровский. Теория формирования эпитаксиальных наноструктур. М., Физматлит. (2009). 351 с
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 56, 761 (2014)
- Е.С. Воронцов. УХН 34, 2020 (1965)
- А.Я. Розовский. Кинетика топохимических реакций. Химия, М. (1974). 221 с
- И.Д. Ван-дер-Ваальс, Ф. Констамм. Курс термостатики. Т. 1-2. ОНТИ, М. (1936). 452 с.
- Н.Ф. Степанов, М.Е. Ерлыкина, Г.Г. Филиппов. Методы линейной алгебры в физической химии. Изд-во МГУ, М. (1976). 360 с
- J.P. O'Connel, J.M. Haime. Thermodynamics. Fundamental of Applications. Cambridge Univ. Press, Cambridge (2005). 654 p
- Термодинамические свойства индивидуальных веществ / Под ред. В.П. Глушко. Т. 2. Кн. 2. Наука, М. (1979). 344 с
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Р.С. Телятник. ФТТ 58, 941 (2016)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 50, 1188 (2008)
- С.В. Кузьмичев, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. МТТ, 4, 88 (2013).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
