Распределение концентрации азота C(z) после диффузии из объема образца на поверхность можно выявить с высокой точностью с помощью последующей термообработки в области средних температур (например, 650^oC). Образующиеся при этом мелкие термодоноры - азотно-кислородные комплексы - имеют распределение по глубине в соответствии с профилем C(z) и позволяют вычислить этот профиль. Данный метод применен для выявления зависимости C(z) после диффузионного отжига при 950, 1000 и 1050^oC. В присутствии высокой концентрации кислорода транспорт азота упрощается благодаря ускоренной диссоциации азотных димеров. С другой стороны, он несколько осложняется вследствие частичного окисления азотных мономеров. Полученные данные свидетельствуют о том, что последний эффект не является слишком сильным: димерная форма азота преобладает, диффузионный профиль контролируется комбинацией D₁K^1/2, где D₁ - коэффициент диффузии мономерного азота, а K - константа диссоциации. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053A).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.