Вышедшие номера
Зависимость оптимальных параметров фемтосекундного лазерного отжига пленок цирконата-титаната свинца от их толщины
Елшин А.С.1, Абдуллаев Д.А.1, Мишина Е.Д.1
1Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Экспериментально исследована зависимость оптимальных параметров лазерного отжига (кристаллизации) повторяющимися импульсами длительностью 100 fs с длиной волны 800 nm, попадающей в область прозрачности пленки, но в область поглощения подложки, от толщины сегнетоэлектрической пленки. Показано, что при увеличении толщины пленки на 100 nm (в диапазоне 300-600 nm) требуемая плотность мощности лазерного луча повышается в среднем на 0.1 MW/cm2. Оптимальное время воздействия лазерного луча заданной мощности увеличивается нелинейно с ростом толщины пленки. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (госзадание вузам, проект N 11.144.2014).