Зависимость оптимальных параметров фемтосекундного лазерного отжига пленок цирконата-титаната свинца от их толщины
Елшин А.С.1, Абдуллаев Д.А.1, Мишина Е.Д.1
1Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.
Экспериментально исследована зависимость оптимальных параметров лазерного отжига (кристаллизации) повторяющимися импульсами длительностью 100 fs с длиной волны 800 nm, попадающей в область прозрачности пленки, но в область поглощения подложки, от толщины сегнетоэлектрической пленки. Показано, что при увеличении толщины пленки на 100 nm (в диапазоне 300-600 nm) требуемая плотность мощности лазерного луча повышается в среднем на 0.1 MW/cm2. Оптимальное время воздействия лазерного луча заданной мощности увеличивается нелинейно с ростом толщины пленки. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (госзадание вузам, проект N 11.144.2014).
- K.G. Brooks, I.M. Reaney, R. Klissurska, Y. Huang, L. Bursill, N. Setter. J. Mater. Res. 9, 2540 (1994)
- K.H. Park, C.Y. Kim, Y.W. Jeong, H.J. Kwon, K.Y. Kim, S.T. Kim. J. Mater. Res. 10, 1790 (1995)
- S. Kim, Y. Bastani, H. Lu. Adv. Mater. 23, 3786 (2011)
- J. Kim. Scanning 32, 320 (2010)
- Y. Matsui, M. Okuyama, N. Fujita, Y. Hamakawa. J. Appl. Phys. 52, 5107 (1981)
- C.F. Chou, H.C. Pan, C.C. Chou. Jpn. J. Appl. Phys. 1, 6679 (2002)
- С.А. Ахманов, В.И. Емельянов, Н.И. Воротеев, В.Н. Семиногов. УФН 147, 4 (1985)
- M.H.M. Zai, A. Akiba, H. Goto, M. Matsumoto, E.M. Yeatman. Thin Solid Films 394, 96 (2001)
- A. Queralto, A.P. del Pino, M. de la Mata, J. Arbiol, M. Tristany, A. Gomez, T. Puig. Appl. Phys. Lett. 106, 262 903 (2015)
- J.P.B. Silva, A. Khodorov, A. Almeida, J.A. Moreira, M. Pereira, M.J.M. Gomes. Appl. Phys. A 116, 1271 (2014)
- H. Palneedi, D. Maurya, G.Y. Kim, S. Priya, S.J.L. Kang, K.H. Kim, J. Ryu. Appl. Phys. Lett. 107, 012 904 (2015)
- А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, Е.Д. Мишина, Д.А. Абдуллаев, Д.А. Киселев. Вестн. МИРЭА 4, 230 (2014)
- А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, М.А. Марченкова, В.И. Емельянов, И.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Д. Мишина, А.С. Сигов. Письма в ЖТФ 41, 9, 16 (2015)
- Н.Ю. Фирсова, А.С. Елшин, М.А. Марченкова, А.К. Болотов, М.С. Иванов, И.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Д.А. Киселев, Е.Д. Мишина. Нано- и микросистемная техника 7(168), 43 (2014)
- N.E. Sherstyuk, E.D. Mishina, S.D. Lavrov, A.M. Buryakov, M.A. Marchenkova, A.S. Elshin, A.S. Sigov. Ferroelectrics 477, 29 (2015)
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
- C.K. Kwok, S.B. Desu. J. Mater. Res. 8, 339 (1992)
- А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, Е.Д. Мишина, О.М. Жигалина, Д.А. Абдуллаев, Д.А. Киселев. Наноматериалы и наноструктуры --- XXI век 3, 30 (2014)
- А.S. Elshin, I.P. Pronin, O.M. Zhigalinа, M.Yu. Presniakov, D.N. Khmelenin, E.D. Mishina, V.I. Emel'yanov. Solid State Commun. In press (2016).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук