Влияние полярности напряжения смещения подложки на текстуру, микроструктуру и магнитные свойства пленок Ni, получаемых магнетронным распылением
Никулин Ю.В.1,2, Джумалиев А.С.2,1, Филимонов Ю.А.2,1,3
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А., Саратов, Россия
Email: dzhas@yandex.ru, yvnikulin@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.
Для пленок Ni, получаемых магнетронным распылением при давлении рабочего газа P, соответствующем режиму пролета атомов распыленного материала мишени в области между мишенью и подложкой, близкому к бесстолкновительному, изучено влияние полярности напряжения смещения подложки Us на микроструктуру, кристаллографическую текстуру и магнитные свойства пленок толщиной d~ 15-420 nm. Показано, что при Us~ -100 V формируются пленки с текстурой Ni(111), микроструктура и магнитные параметры которых почти не меняются с толщиной. При Us~ +100 V формируются пленки Ni(200), магнитные свойства и микроструктура которых существенно зависят от толщины d, что проявляется в наличии критической толщины d*~ 150 nm, когда структура пленки по толщине становится неоднородной, петли перемагничивания изменяются от прямоугольных к закритическим и формируется полосовая доменная структура. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 16-37-60052).
- R.S. Liu, H. Pettersson, L. Michalak, C.M. Canali, D. Suyatin, L. Samuelson. Appl. Phys. Lett. 90, 123 111 (2007)
- J.-I. Shirakashia, Y. Takemura. J. Magn. Magn. Mater. 272-- 276, 1581 (2004)
- P.A. Deymier, J.O. Vasseur, K. Runge, A. Manchon, O. Bou-Matar. Phys. Rev. B 90, 224 421 (2014)
- T. Moriyama, T.J. Gudmundsen, P.Y. Huang, L. Liu, D.A. Muller, D.C. Ralph, R.A. Buhrman. Appl. Phys. Lett. 97, 072 513 (2010)
- V.L. Zhang, F.S. Ma, H.H. Pan, C.S. Lin, H.S. Lim, S.C. Ng, M.H. Kuok, S. Jain, A.O. Adeyeye. Appl. Phys. Lett 100, 163 118 (2012)
- P. Graczyk, B. Mroz. Am. Insitute Phys. Adv. 4, 077 138 (2014)
- L. Dreher, M. Weiler, M. Pernpeintner, H. Huebl, R. Gross, M.S. Brandt, S.T.B. Goennenwein. Phys. Rev. B 86, 134 415 (2012)
- R.F. Wiegert, M. Levy. J Appl. Phys. 64, 5411 (1988)
- F. Kreitmeier, D.V. Chashin, Y.K. Fetisov, L.Y. Fetisov, I. Schulz, G.J. Monkman, M. Shamonin. Sensors 12, 14 821 (2012)
- M. Weiler, A. Brandlmaier, S. Geprags, M. Althammer, M. Opel, C. Bihler, H. Huebl, M.S. Brandt, R. Gross, S.T.B. Goennenwein. New J. Phys. 11, 013 021 (2009)
- M.R.J. Gibbs. J. Magn. Magn. Mater. 290-- 291, 1298 (2005)
- T.H. Kim, J.S. Moodera. Phys. Rev. B 69, 020 403 (2004)
- S.-M. Cherif, A. Layadi, J. Ben Youssef, C. Nacereddine, Y. Roussigne. Physica B 387, 281 (2007)
- J.B. Yi, Y.Z. Zhou, Z.J. Ding. J. Magn. Magn. Mater. 284, 303 (2004)
- O. Kohmoto, N. Mineji, Y. Isagawa. J. Magn. Magn. Mater. 239, 36 (2002)
- А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. Радиотехника и Электроника 57, 550 (2012)
- C.Y. Shih, C.L. Bauer, J. Artman. O. Artman. J. Appl. Phys. 64, 5428 (1988)
- Е.Е. Шалыгина, Л.В. Козловский, Н.М. Абросимова. ФТТ 47, 660 (2005)
- S. Hameed, P. Talagala, R. Naik. J. Magn. Magn. Mater. 242-- 245, 1264 (2002)
- L.G. Pratibha, R. Mitra, J.R. Weertman. Pure Appl. Chem. 74, 1519 (2002)
- H. Shimizu, E. Suzuki, Y. Hoshi. Electrochomica Acta. 44, 3933 (1999)
- Y. Pauleau, S. Kukielka, W. Gulbinski, L. Ortega, S.N. Dub. J. Phys. D 39, 2803 (2006)
- В.В. Наумов, В.Ф. Бочкарев, О.С. Трушин, А.А. Горячев, Э.Г. Хасанов, А.А. Лебедев, А.С. Куницын. ЖТФ 71, 92 (2001)
- F. Czerwinski, J.A. Szpunar. Textures Microstructures 34, 197 (2000)
- A.Y. Pavlova, Y.V. Nikulin, A.S. Dzhumaliev, Y.V. Khivintsev, A.A. Zaharov, V.L. Preobrazhensky, P. Pernod, Y.A. Filimonov. Appl. Surf. Sci. 347, 435 (2015)
- А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. ЖТФ 84, 7, 152 (2014)
- T. Koda, H. Toyota. J. Vacuum Sci. Technology A 32, 02B104 (2014)
- B.G. Priyadarshini, M. Kumar Gupta, S. Ghosh, M. Chakraborty, S. Aich. Surf. Eng. 29, 689 (2013)
- P.L. Gai1, R. Mitra, J.R. Weertman. Pure Appl. Chem. 74, 1519 (2002)
- T. Kazuaki, O. Yuta, K. Keishi. J. Vacuum Soc. J. 49, 156 (2006)
- C. Nacereddine, A. Layadi, A. Guittoum, S.-M. Cherif, T. Chauveau, D. Billet, J. Ben Youssef, A. Bourzami, M.-H. Bourahli. Mater. Sci. Eng. B 136, 197 (2007)
- S. Thiele, A. Reina, P. Healey, J. Kedzierski, P. Wyatt, P.-L. Hsu, C. Keast, J. Schaefer1. J. Kong Nanotechnology 21, 015 601 (2010)
- N. Popovic, Z. Bogdanov, B. Goncic, Z. Rakocevic, S. Zec. Thin Solid Films 343-- 344, 75 (1999)
- P.B. Geetha, S. Aich, M. Chakraborty J. Mater Sci. 46, 2860 (2011)
- S.G. Wang, E.K. Tian, C.W. Lung. J. Phys, Chem. Solids 61, 1295 (2000)
- А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. Письма в ЖТФ 39, 10 (2013)
- D. Walton. J. Chem. Phys. 37, 2182 (1962)
- T. Futschek, J. Hafner, M. Marsman. J. Phys.: Condens. Matter. 18, 9703 (2006)
- C.Л. Высоцкий, А.С. Джумалиев, С.А. Никитов, Ю.А. Филимонов. Радиотехника и электроника 45, 209 (2000)
- H. Masumoto, H. Saito, Y. Murakami. Trans JIM. 10, 119 (1969)
- T.-Y. Fu, T.T. Tsong. Surf. Sci. 454-- 456, 571 (2000)
- C. Тикадзуми. Физика ферромагнетизма. Магнитные свойства вещества. Мир, М. (1983). 304 c
- W.H. Zhong, C.Q. Sun, S. Li. Solid State Commun. 130, 603 (2004)
- R. Arias, D.L. Mills. Phys. Rev. B 63, 134 439 (2001)
- Г.С. Кринчик. Физика магнитных явлений. Изд-во МГУ М. (1985). 336 с
- Технология тонких пленок. Справочник. / Под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга. Сов. радио, М. (1977). т. 2
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.