Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Кинетика окисления тонких пленок титана, выращенных на поверхности вольфрама
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: afanaseva@ms.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.
Методами термодесорбционной спектрометрии и оже-электронной спектроскопии исследован рост тонких пленок Ti на грани (100)W, а также кинетика их окисления. Механизм роста пленки Ti на грани (100)W при комнатной температуре близок к послойному. Энергия активации десорбции атомов Ti уменьшается от 5.2 eV при степени покрытия theta=0.1 до 4.9 eV в многослойной пленке. При окислении тонкой (theta=6) титановой пленки сначала наблюдается растворение в ее объеме атомов кислорода до предельной для данной температуры концентрации, затем пленка окисляется до TiO, при дальнейшей экспозиции в кислороде наблюдается рост окисла TiO2. При термодесорбции окислы испаряются с нулевым порядком кинетики десорбции и следующими энергиями активации десорбции: 5.1 eV (TiO) и 5.9 eV (TiO2). Работа выполнена в рамках Российской государственной программы "Поверхностные атомные структуры" (ГК N 1152) и при частичной поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 03-02-17523).
- A. Fujishima, K. Honda. Nature 37, 238 (1972)
- A.L. Lisebigler, G. Lu, J.T. Jates, Jr. Chem. Rev. 95, 735 (1995)
- D.M. Hanson, R. Stockbauer, T.E. Madey. Phys. Rev. B 24, 10, 5513 (1981)
- E. Bertel, R. Stockbauer, T.E. Madey. Surf. Sci. 141, 355 (1984)
- A. Takano, K. Ueda. Surf. Sci. 242, 450 (1991)
- C. Ocal, S. Ferrer. Surf. Sci. 178, 850 (1986)
- P.H. Dawson. Surf. Sci. 65, 41 (1977)
- D. Brugnian, C. Argile, M.G. Barthes-Labrousse, G.E. Read. Surf. Sci. 141, 639 (1984)
- A. Azouley, N. Shamir, E. Fromm, M.H. Mintz. Surf. Sci. 370, 1 (1997)
- G. Lu, S.L. Bernasek, J. Schwartz. Surf. Sci. 458, 80 (2000)
- W. Brearly, N.A. Surplice. Surf. Sci. 64, 372 (1977)
- A. Platau, L.I. Johansson, A.L. Hugstrom, S.E. Karlsson, S.B.M. Hagstrom. Surf. Sci. 63, 153 (1977)
- M. Martin, W. Mader, E. Fromm. Thin Solid Films 250, 61 (1994)
- I. Vaquila, M.C.G. Passeggi, Jr, J. Ferron. Phys. Rev. B 55, 20, 13 925 (1997)
- W.S. Oh, C. Xu, D.Y. Kim, D.W. Goodman. J. Vac. Sci. Technol. A15, 1710 (1997)
- O. Guo, W.S. Oh, D.W. Goodman. Surf. Sci. 437, 49 (1999)
- R.L. Strong, J.L. Erskine. J. Vac. Sci. Technol. A3, 1428 (1985)
- B.T. Jonker, J.F. Morar, R.L. Park. Phys. Rev. B 24, 6, 2951 (1981)
- S. Aduru, J.W. Rabalais. Langmuir 3, 543 (1987)
- D.E. Eastman. Solid State Commun. 10, 933 (1972)
- H.D. Shih, F. Jona. Appl. Phys. 12, 311 (1977)
- L. Porte, M. Demosthenous, T.M. Duc. J. Less Common Met. 56, 183 (1977)
- J.S. Corneille, J-W. He, D.W. Goodman. Surf. Sci. 338, 211 (1995)
- В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность 7, 30 (1987)
- В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. ФТТ 39, 8, 1484 (1997)
- M.-Ch. Wu, J.S. Corneille, D.W. Goodman. Surf. Sci. Lett. 255, L536 (1991)
- В.П. Глушко, Л.В. Гуревич, Н.В. Вейц и др. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочник. Наука, М. (1978-1982)
- Е. Фромм, Е. Гебхардт. Газы и углерод в металлах. Металлургия, М. (1980)
- Я.И. Герасимов и др. Курс физической химии. Химия, М-Л. (1964)
- Е.К. Казенас, Ю.В. Цветков. Испарение оксидов. Наука, М. (1997)
- В.Н. Агеев, Н.И. Ионов. ЖТФ 38, 7, 1149 (1968)
- Н.П. Васько, Ю.Г. Птушинский. УФЖ 13, 347 (1968)
- В.Н. Агеев. ЖТФ 40, 8, 1743 (1970)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
