Изучение эволюции атомного состава тонких пленок NbN в процессе облучения смешанными ионными пучками методами спектроскопии энергетических потерь электронов
Министерство образования и науки Российской Федераци, Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы, 14.607.21.0005
Дементьева М.М.
1, Приходько К.Е.
1,2, Гурович Б.А.
1, Кутузов Л.В.
1, Комаров Д.А.
11Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: dementyeva_mm@nrcki.ru, prihodko_ke@nrcki.ru, Gurovich_BA@nrcki.ru, kutuzov_lv@nrcki.ru, Komarov_DA@nrcki.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.
Экспериментально методами спектроскопии энергетических потерь электронов в просвечивающем электронном микроскопе в режиме трансмиссионного сканирования на образцах поперечных срезов исследовано изменение атомного состава ультратонких пленок NbN в ходе их облучения смешанными ионными пучками до дозы 4 dpa (по азоту). Установлено протекание процесса замещения атомов азота атомами кислорода, характеризующееся изменением состава проводящей части пленки с NbN на NbNO. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии N 14.607.21.0005, уникальный индентификатор RFMEFI60714X0005).
- T.P. Orlando, K.A. Delin. Foundation of applied superconductivity. Prentice Hall (1991). 584 p
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Е.А. Кулешова. ЖЭТФ 143, 6, 1 (2013)
- D. Dew-Hughes, R. Jones. Appl. Phys. Lett. 36, 856 (1980)
- J.Y. Juang, D.A. Rudman, J. Talvacchio, R.B. van Dover. Phys. Rev. B 38, 4, 2354 (1988)
- Th. Siebold, P. Ziemann. Phys. Rev. B 51, 10, 6328 (1995)
- Б.А. Гурович, М.А. Тархов, К.Е. Приходько, Е.А. Кулешова, Д.А. Комаров, В.Л. Столяров, Е.Д. Ольшанский, Б.В. Гончаров, Д.А. Гончарова, Л.В. Кутузов. А.Г. Домантовский. Рос. нанотехнологии 9, 7-- 8, 36 (2014)
- D. Williams, A. Carter. Electron microscopy. Springer, N.Y. (2009). 775 p
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, M.A. Tarkhov, A.G. Domantovsky, D.A. Komarov, B.V. Goncharov, E.A. Kuleshova. Micro and Nanosystems 8, 1 (2015)
- K. Prikhodko, B. Gurovich, M. Dement'eva. In: Proc. of the 10th Int. Conf. on materials for extreme conditions: development, creation, application. IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 130, 012046 (2016)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.