Релаксация тока в Si3N4: эксперимент и численное моделирование
Новиков Ю.Н.1, Гриценко В.А.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: nov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 7 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Экспериментально измерена релаксация тока в структуре металл-нитрид-оксид-полупроводник. Эксперимент сравнивается с расчетом, основанным на двухзонной модели проводимости и многофононном механизме ионизации ловушек. Из сравнения эксперимента с расчетом для величины сечения рекомбинации получена оценка сверху, которая составила 5· 10-13 cm2. DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43949.234
- В.А. Гриценко. Cтроение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП-структурах. Наука, Новосибирск (1993). 278 c
- S.M. Sze. J. Appl. Phys. 18, 2951 (1967)
- S. Manzini. J. Appl. Phys. 62, 3278 (1987)
- Y.C. Jeon, H.Y. Lee, S.K. Joo. J. Appl. Phys. 75, 979 (1993)
- Г.В. Гадияк, М.С. Обрехт, С.П. Синица. Микроэлектроника 14, 512 (1985)
- K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, Yu.N. Novikov, E.-H. Lee, S.Y. Yoon, C.W. Kim. J. Appl. Phys. 96, 4293 (2004)
- H. Bachhofer, H. Reisinger, E. Bertagnolli. J. Appl. Phys. 89, 2791 (2001)
- A.V. Veshnykov, Yu.N. Novikov, V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov. Solid-State Electron. 53, 251 (2009)
- V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov, Yu.N. Novikov, A.L. Aseev, S.Y. Yoon, J.-W. Lee, E.-H. Lee, C.W. Kim. Solid-State Electron. 47, 1651 (2003)
- Yu.N. Novikov, V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov. Optoelectronics 45, 80 (2009)
- Yu.N. Novikov. J. Appl. Phys. 117, 154103 (2015)
- J. Bu, M.H. White. Solid-State Electron. 45, 113 (2001)
- G.W. Burr, M.J. Breitwisch, M. Franceschini, D. Garetto, K. Gopalakrishnan, B. Jackson, B. Kurdi, C. Lam, L.A. Lastras, A. Padilla, B. Rajendran, S. Raoux, R.S. Shenoy. Vac. Sci. Technol. B 28, 223 (2010)
- V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R2081 (1997)
- S.S. Makram-Ebeid, M. Lannoo. Phys. Rev. B 25, 6406 (1982)
- F.L. Hampton, J.R. Cricchi. Appl. Phys. Lett. 35, 802 (1979)
- S.D. Tzeng, S. Gwo. J. Appl. Phys. 100, 023711 (2006)
- Y.J. Seo, K.C. Kim, H.D. Kim, G. Kim, H.-M. An. J. Korean Phys. Soc. 53, 3302 (2008)
- А.А. Карпушин, А.Н. Сорокин, В.А. Гриценко. Письма в ЖЭТФ 103, 188 (2016)
- V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, S.P. Sinitsa. Phys. Status. Solidi. A 48, 31 (1978)
- D.S. Jeong, H. Schroeder, R. Waser. Phys. Rev. B 79, 195317 (2009)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.