Механическая модель аморфизации при ионном облучении
Тетельбаум Д.И.1, Менделева Ю.А.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: Tetelbaum@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 10 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.
Предложена механическая модель аморфизации твердых тел, основанная на представлении о возникновении по мере накопления радиационных дефектов сил и их моментов, действующих на локальные объемы вещества и приводящих к фрагментации. Проведенные оценки показывают, что такая модель может быть адекватной только при учете деформационных волн, генерируемых при реакциях между дефектами. Данная модель согласуется с паракристаллической структурой аморфизованных ионным облучением слоев кремния. Работа частично поддержана грантом РФФИ N 04-02-16493.
- Е.И. Зорин, П.В. Павлов, Д.И. Тетельбаум. Ионное легирование полупроводников. Энергия, М. (1976). 130 с
- J.R. Parsons. Phil. Mag. 12, 120, 1159 (1965)
- L.A. Christel, J.F. Gibbons, T.W. Sigmon. J. Appl. Phys. 52, 12, 7143 (1981)
- N. Valenkov, E. Porai-Koshits. Z. Kristallogr. 95, 1/4, 195 (1937)
- В.П. Захаров, В.С. Герасименко. Структурные особенности полупроводников в аморфном состоянии. Наук. думка, Киев (1976). 280 с
- D. Polk, D.S. Bondreax. Phys. Rev. Lett. 31, 2, 92 (1973)
- Ju.Yin Cheng, J.M. Gibson, P.M. Baldo, B.J. Kestel. J. Vac. Sci. Technol. A 20, 6, 1855 (2002)
- В.Л. Инденбом. Письма в ЖТФ 5, 8, 489 (1979)
- Дж. Эшелби. Континуальная теория дислокаций / Пер. с англ. под ред. Б.Я. Любова. ИЛ, М. (1966). 247 с
- А. Дамаск, Дж. Динс. Точечные дефекты в металлах. Мир, М. (1966). 292 с
- П.В. Павлов, Ю.А. Семин., В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум. ФТП 20, 3, 503 (1986)
- М. Томпсон. Дефекты и радиационные повреждения в металлах. Мир, М. (1971). 368 с
- В.Л. Винецкий, Г.А. Холодарь. Радиационная физика полупроводников. Наук. думка, Киев (1979). 336 с
- И.В. Терешко, В.И. Ходырев, Э.А. Липский, Ж.А. Рымкевич, В.В. Глущенко, В.Н. Кончаленко, Д.Л. Виноградов. Вестн. Нижегород. ун-та им. Н.И. Лобачевского. Сер. Физика твердого тела 2, 131 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.