Бета-индуцированное уменьшение содержания фаз кремния Si-II, Si-XII, Si-III и alpha-Si, образующихся под индентором
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 15-02-04797 а.
Дмитриевский А.А.
1, Ефремова Н.Ю.
1, Гусева Д.Г.
11Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Email: aadmitr@yandex.ru
Поступила в редакцию: 3 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Проведена количественная оценка объемов метастабильных фаз кремния Si-II, Si-XII, Si-III и alpha-Si в локально деформированной (пирамида Берковича) области необлученных и предварительно облученных монокристаллов Si. Для расчета объемов использованы экспериментальные данные, полученные методами рамановской спектроскопии и in situ регистрации фазовых превращений кремния Si-I-> Si-II под индентором. Предварительное облучение кремния бета-частицами от источника 90Sr-90Y (флюенс F=3.24·1010 cm-2, интенсивность I=1,8·105 cm-2s-1) вызывает более чем полуторакратное уменьшение объема указанных фаз. Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта N 15-02-04797 а. DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45067.107
- Springer Handbook of Nanotechnology / Ed. Bharat Bhushan. Springer. (2010). 1950 p
- S.S. Kumar, B.D. Pant. Microsyst Technol. 20, 1213 (2014)
- F. Chollet. Micromachines 7, 18 (2016)
- V. Domnich, Y. Gogotsi. Rev. Adv. Mater. Sci. 3, 1 (2002)
- I.V. Gridneva, Y.V. Milman, V.I. Trefilov. Phys. Status Solidi. 14, 177 (1972)
- Y.B. Gerbig, Ch.A. Michaels, R.F. Cook. Scripta Mater. 120, 19 (2016)
- А.А. Дмитриевский. Деформация и разрушение материалов 11, 2 (2013)
- Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, А.В. Шуклинов, П.А. Косырев, А.Р. Ловцов. Изв. вузов. Физика 54, 8, 73 (2011)
- А.А. Дмитриевский, Д.Г. Гусева, Н.Ю. Ефремова. Деформация и разрушение материалов 2, 31 (2016)
- А.А. Дмитриевский, Ю.И. Головин, В.М. Васюков, Н.Ю. Сучкова. Изв. АН. Сер. физ. 72, 7, 988 (2008)
- B. Haberl, M. Guthrie, S.V. Sinogeikin, G. Shen, J.S. Williams, J.E. Bradby. High Press. Res. 35, 99 (2015)
- Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, Н.Ю. Сучкова, М.В. Бадылевич. ФТТ 47, 7, 1237 (2005)
- М.В. Бадылевич, И.В. Блохин, Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, С.В. Карцев, Н.Ю. Сучкова, М.Ю. Толотаев. ФТП 40, 12, 1409 (2006)
- X.Q. Yan, X.M. Huang, S. Uda, M.W. Chen. Appl. Phys. Lett. 87, 191911 (2005)
- S. Ruffell, J. Vedi, J.E. Bradby, J.S. Williams. J. Appl. Phys. 106, 123511 (2009)
- S. Ruffell, J. Vedi, J.E. Bradby, J.S. Williams, B. Haberl. J. Appl. Phys. 105, 083520 (2009)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.