Вышедшие номера
Электропроводность и барьерные свойства тонких пленок ниобата лития*
Переводная версия: 10.1134/S106378341804011X
Гудков С.И.1, Бакланова К.Д.1, Каменщиков М.В.1, Солнышкин А.В.1,2, Белов А.Н.2
1Тверской государственный университет, Тверь, Россия
2Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Москва, Зеленоград, Россия
Email: sergej-gudkov-i@yandex.ru
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Методами вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик исследованы тонкопленочные структуры на основе LiNbO3, сформированные различными способами: методом лазерной абляции и методом магнетронного распыления. По вольт-фарадным характеристикам определена величина потенциального барьера на интерфейсе Si-LiNbO3 для обоих типов пленок. Анализ вольт-амперных характеристик выявил наличие в исследуемых структурах нескольких механизмов проводимости. В пленке LiNbO3, изготовленной методом лазерной абляции, основной вклад в электропроводность дают эффект Пула-Френкеля и токи, ограниченные пространственным зарядом. В пленочной гетероструктуре, изготовленной методом магнетронного распыления, основной механизм - токи, ограниченные пространственным зарядом. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант N 15-19-00138). DOI: 10.21883/FTT.2018.04.45685.09D