Образование дислокационных пар в гетероструктуре Ge/GeSi/Si(001)
Российский научный фонд, Центры коллективного пользования, 14-22-00143
Болховитянов Ю.Б.1, Гутаковский А.К.1, Дерябин А.И.1, Соколов Л.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bolkh@isp.nsc.ru, gut@isp.nsc.ru, das@isp.nsc.ru, sokolov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.
В гетероструктурах (ГС) Ge/LTGe/GeSi/Si(001) буферный слой GeSi в определенном диапазоне параметров ГС и режимов их роста остается псевдоморфным, в то время как пленка Ge полностью релаксирована за счет сетки краевых дислокаций, расположенной на границе раздела Ge/GeSi. В работе экспериментально показано, что наряду с краевыми дислокациями образуются дислокации с векторами Бюргерса типа a0<100>. Их формирование обусловлено реакцией 60o-х дислокаций, имеющих однонаправленную винтовую компоненту. При этом, если в процессе релаксации буферного слоя краевые дислокации расщеплялись с образованием дислокационного комплекса краевого типа, в котором 60o-е дислокации оставались связанными, то дислокации с векторами Бюргерса a0<001> расщеплялись на две независимые 60o-е дислокации. Электронно-микроскопические исследования проводились на оборудовании ЦКП "Наноструктуры" при поддержке Российского научного фонда (грант N 14-22-00143).
- W.M. Lomer. Phil. Mag. 42, 1327 (1951)
- S. Mader, A.E. Blakeslee, J. Angilello. J. Appl. Phys. 45, 4730 (1974)
- E.P. Kvam, D.M. Maher, C.J. Humpreys. J. Mater. Res. 5, 1900 (1990)
- M. Ishimura, J. Narayan. Phil. Mag. A 72, 281 (1995)
- J. Hornstra. J. Phys. Chem. Solid 5, 129 (1958)
- J. Narayan, S. Oktyabrsky. J. Appl. Phys. 92, 7122 (2002)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. Acta Mater. 61, 617 (2013)
- Ю.Б. Болховитянов, А.К. Гутаковский, А.С. Дерябин, Л.В. Соколов. ЖЭТФ 150, 5 (11), 955 (2016)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. J. Crystal Growth 483, 265 (2018)
- Yi Wang, P. Ruterana, S. Kret, J. Chen, S. El Kazzi, L. Desplanque, X. Wallart. Appl. Phys. Lett. 100, 262110 (2012)
- S. Oktyabrsky, J. Narayan. MRS Proc. 399, 443 (1996)
- M.J. Hytch, E. Snoeck, R. Kilaas. Ultramicroscopy 74, 131 (1998)
- S. Kret, P. Ruterana, A. Rosenauer, D. Gerthsen. Phys. Status Solidi B 227, 247 (2001)
- А.К. Гутаковский, А.Л. Чувилин, С.А. Сонг. Доклады РAH. Физика 71, 1426 (2007). [Available at https://www.researchgate.net/publication/225617264.]
- Y.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. Acta Mater. 61, 5400 (2013)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. Thin Solid Films 616, 348 (2016)
- A. Vila, A. Cornet, J.R. Morante. Appl Phys Lett. 68, 1244 (1996)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. J. Crystal Growth 293, 247 (2006)
- R.S. Goldman, K.L. Kavanagh, H.H. Wieder, S.N. Ehrlich, R.M. Feenstra. J. Appl. Phys. 83, 5137 (1998)
- F.C. Frank. Physika 15, 131 (1949)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. ФТТ 52, 1, 32 (2010)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.