Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование
Переводная версия: 10.1134/S1063783419070308 
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 февраля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2019 г.
Экспериментально исследовано изменение элементного состава тонких пленок PZT, полученных методом ВЧ магнетронного распыления при вариации давления рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов Pb, Zr и Ti при ионно-плазменном осаждении тонких пленок PZT. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава при различных значениях давления газовой среды. Проведенные исследования позволяют получать тонкие пленки PZT с заданным элементным составом, что важно для оптимизации электрофизических свойств твердых растворов, относящихся к области морфотропной фазовой границы. Ключевые слова: сегнетоэлектрики, тонкие пленки PZT, элементный состав, моделирование ионно-плазменных процессов.
- S. Trolier-McKinstry, P. Muralt. J. Electroceram. 12, 7 (2004)
- P. Muralt. J. Am. Cer. Soc. 91, 1385 (2008)
- Б. Яффе, У. Кук, Г. Яффе. Пьезоэлектрическая керамика. Мир, М. (1974) 288 с
- B. Noheda, D.E. Cox, G. Shirane, J.A. Gonzalo, L.E. Cross, S.-E. Park. Appl. Phys. Lett. 74, 2059 (1999)
- B. Noheda, D.E. Cox. Phase Transitions 79, 5 (2006)
- A.L. Kholkin, K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux, N. Setter. Integrated Ferroelectrics 22, 525 (1998)
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Е.А. Тараканов, В.П. Афанасьев. ФТТ 44, 1659 (2002)
- В.В. Осипов, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. ФТТ 57, 1748 (2015)
- J.-S. Yang, Y.S. Kang, I. Kang, S.M. Lim, S.J. Shin, J.W. Lee, K. Nur. IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr. Frequency Control 64, 3, 617 (2017)
- В.А. Вольпяс, А.Б. Козырев. ЖЭТФ 140, 1, 196 (2011)
- V.A. Volpyas, A.Y. Komlev, R.A. Platonov, A.B. Kozyrev. Phys. Lett. A 378, 3182 (2014)
- В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин, А.К. Михайлов, А.Б. Козырев, Р.A. Платонов. Письма в ЖТФ 42, 14, 87 (2016)
- Д.М. Долгинцев, В.П. Пронин Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. Письма в ЖТФ 45, 6, 3 (2019)
- G.M. Turner, I.S. Falconer, B.W. James, D.R. J. McKenzie. Appl. Phys. 65, 3671 (1989)
- C.S. Nimisha, G. Mohan Rao. J. Appl. Phys. 109, 114910 (2011)
- E.K. Hollmann, V.A. Volpyas, R. Wordenweber. Physica C 425, 101 (2005)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
