Влияние поверхностных ловушек на релаксацию инжектированного заряда в диэлектрических пленках
Барыбин А.А.1, Завьялов А.В.1, Шаповалов В.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: VIShapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.
Аналитически решена задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей как объемными, так и поверхностными глубокими ловушками с быстрой (практически мгновенной) зарядкой, имеющими конечные скорости разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают в частных случаях ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ экспериментальных данных для пленок оксида титана, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 10-03-00845-a).
- А.А. Барыбин, В.И. Шаповалов. ФТТ 50, 781 (2008)
- A. Many, G. Rakavy. Phys. Rev. 126, 1980 (1962)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 41, 4004 (1970)
- I.P. Batra, K.K. Kanazawa, H. Seki. J. Appl. Phys. 41, 3416 (1970)
- I.P. Batra, K.K. Kanazawa, B.H. Schechtman, H. Seki. J. Appl. Phys. 42, 1124 (1971)
- H. Seki, I.P. Batra. J. Appl. Phys. 42, 2407 (1971)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 42, 4724 (1971)
- А.И. Руденко. ФТП 5, 2383 (1971)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 2927 (1972)
- K.K. Kanazawa, I.P. Batra, H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 719 (1972)
- H.J. Wintle. Thin Solid Films 21, 83 (1974)
- P.W. Chudleigh. Appl. Phys. Lett. 48, 4591 (1977)
- В.И. Архипов, А.И. Руденко. ФТП 16, 1798 (1982)
- В.В. Брыскин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 28, 148 (1986)
- В.В. Брыскин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 29, 1323 (1987)
- Г. Корн, Т. Корн. Справочник по математике для научных работников и инженеров. Наука, М. (1968). 720 с
- Ю.П. Адлер, Е.В. Маркова, Ю.В. Грановский. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. Наука, М. (1976). 220 с
- И.С. Градштейн, И.М. Рыжик. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. Наука, М. (1971). С. 106
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
