Ловушки в нанокомпозитном слое кремний-диоксид кремния и их влияние на люминесцентные свойства
Дементьев П.А.
1, Иванова E.B.
1, Заморянская M.B.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ivanova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.
Исследованы ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния и диоксиде кремния с нанокомпозитным слоем, состоящим из оксида кремния и нанокристаллитов кремния, методами кельвин-зонд микроскопии и катодолюминесценции. На основании экспериментальных исследований установлено присутствие в образцах ловушек электронов и дырок. Продемонстрированно влияние зарядового состояния ловушек электронов на люминесцентные свойства пленок. Показано, что количество ловушек в нанокомпозитных слоях больше, чем в термических окислах, однако их энергии активации близки по своим значениям. Это говорит о том, что природа ловушек в таких слоях одинакова. Ключевые слова: ловушки электронов, ловушки дырок, нанокластеры кремния, люминесценция.
- V. Kumar. Nanosilicon, Elsevier (2007) p. 361
- S. Tiwari, F. Rana, H. Hanafi, A. Hartstein, E.F. Crabbe, K. Chan. Appl. Phys. Lett. 68, 1377 (1996)
- S.K. Lai. IBM J. Res. Dev. 52, 529 (2008)
- L. Khriachtchev. Silicon Nanophotonics: Basic Principles, Current Status and Perspectives, Pan Stanford (2008)
- G. Conibeera, M. Greena, R. Corkisha, Y. Choa, E.-C. Chob, C.-W. Jianga, T. Fangsuwannaraka, E. Pinka, Y. Huanga, T. Puzzera, T. Trupkea, B. Richardsc, A. Shalava, K.-I. Lin. Thin Solid Films 511- 512, 654 (2006)
- Е.В. Иванова, А.А. Ситникова, О.В. Александров, М.В. Заморянская. ФТП 50, 6, 807 (2016)
- E.V. Ivanova, P.A. Dementev, A.A. Sitnikova, O.V. Aleksandrov, M.V. Zamoryanskaya. J. Electron. Mater. 47, 7, 3969 (2018)
- Е.В. Иванова, М.В. Заморянская. ФТТ 58, 10, 1895 (2016)
- D. Lehninger, P. Seidel, M. Geyer, F. Schneider, V. Klemm, D. Rafaja, J. von Borany, J. Heitmann. Appl. Phys. Lett. 106, 023116 (2015)
- E. Yurchuk, J. Muller, S. Muller, J. Paul, M. Pesic, R. van Bentum, U. Schroeder, T. Mikolajick. IEEE Transactions On Electron Devices 63, 9, 3501 (2016)
- M.S. Dunaevskiy, P.A. Alekseev, P. Girard, E. Lahderanta, A. Lashkul, A.N. Titkov. J. Appl. Phys. 110, 084304 (2011)
- Ze-Qun Cui, Shun Wang, Jian-Mei Chen, Xu Gao, Bin Dong, Li-Feng Chi, Sui-Dong Wang. Appl. Phys. Lett. 106, 123303 (2015)
- P.A. Dement'ev, P.A. Alekseev, M.S. Dunaevskii, A.N. Aleshin. J. Phys.: Conf. Ser. 661, 012029 (2015)
- K.N. Orekhova, R. Tomala, D. Hreniak, W. Strek, M.V. Zamoryanskaya. Opt. Mater. 74, SI, 170 (2016)
- M.V. Zamoryanskaya, S.G. Konnikov, A.N. Zamoryanskii. Instrum. Exp. Tech. 47, 4, 477 (2004)
- J. Goldstein, D. Newbury, D. Joy, C. Lyman, P. Echlin, E. Lifshin. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. Kluwer Academic/Plenum Publishers, N.Y. (2003). p. 689
- M.M. Perlman, T.J. Sonnonstine, J.A.St. Pierre. J. Appl. Phys. 47, 5016 (1976)
- L.N. Skuja, A.R. Silin. Physica Status Solidi A 70, 43 (1982)
- H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. Von Czarnovski. J. Non-Cryst. Solids 303, 218 (2002)
- E.V. Kolesnikova (Ivanova) , M.V. Zamoryanskaya. Physica B: Condens. Matter, 404, 4653 (2009)
- О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ЖТФ 73, 5, 57 (2003)
- О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ФТП 32, 1, 19 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.