Влияние температуры синтеза на микроструктуру и электрофизические свойства пленок BST 80/20
Министерство науки и высшего образования РФ , Государственное задание
Министерство науки и высшего образования РФ , Государственное задание, 11.9706.2017/7.8
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-29-11029
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-07-00271
Афанасьев М.С.
1, Киселев Д.А.
1,2, Левашов С.А.
1, Сивов А.А.
1, Чучева Г.В.
11Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: dm.kiselev@gmail.com, gvc@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 22 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Показано влияние температуры синтеза на микроструктуру и электрофизические свойства сегнетоэлектрических пленок состава Ba0.8Sr0.2TiO3 при формировании на кремниевые подложки с подслоем платины. На основе электрофизических и топографических измерений делается вывод о влиянии температуры синтеза сегнетоэлектрических пленок на их свойства. Ключевые слова: металл-диэлектрик-металл-структуры, сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3, микроструктура, электрофизические свойства, сканирующая зондовая микроскопия.
- К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства / Под ред. А.С. Сигова. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
- A.K. Tagantsev, V.O. Sherman, K.F. Astafiev, J. Venkatesh, N. Setter. J. Electroceram. 11, 5 (2003)
- К.М. Рабе, Ч.Г. Ана, Ж.М. Трискона. Физика сегнетоэлектриков. Современный взгляд. БИНОМ. Лаборатория знаний, М. (2011). 440 с
- S. Ezhilvalavan, Tseung-Yuen Tseng. Mater. Chem. Phys. 65, 227 (2000)
- А.В. Тумаркин, Е.Р. Тепина, Е.А. Ненашева, Н.Ф. Картенко, А.Б. Козырев. ЖТФ 82, 53 (2012)
- А.В. Тумаркин, С.В. Разумов, В.А. Вольпяс, А.Г. Гагарин, А.А. Одинец, М.В. Злыгостов, Е.Н. Сапего. ЖТФ 87, 1585 (2017)
- М.С. Афанасьев, М.С. Иванов. ФТТ 51, 1259 (2009)
- Д.А. Киселев, М.С. Афанасьев, С.А. Левашов, Г.В. Чучева. ФТТ 57, 6, 1134 (2015)
- М.С. Афанасьев, Д.А. Киселев, С.А. Левашов, В.А. Лузанов, А.Э. Набиев, В.Г. Нарышкина, А.А. Сивов, Г.В. Чучева. ФТТ 60, 951 (2018)
- Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ПТЭ 6, 110 (1997)
- T. Hamano, D.J. Towner, B.W. Wessels. Appl. Phys. Lett. 83, 5274 (2003)
- P.M. Suherman, T.J. Jackson, Y.Y. Tse, I.P. Jones, R.I. Chakalova, M.J. Lancaster, A. Porch. J. Appl. Phys. 99, 104101-1 (2006)
- I. Horcas, R. Fernandez, J. M. Gomez-Rodriguez, J.W.S.X. Colchero, J.W.S.X.M. Gomez-Herrero, A.M. Baro. Rev. Sci. Instr. 78, 1, 013705 (2007)
- R.C. Munoz, G. Vidal, M. Mulsow, J.G. Lisoni, C. Arenas, A. Concha, R. Esparza. Phys. Rev. B 62, 7, 4686 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.