Морфология поверхности, микроструктура и пьезоэлектрический отклик перовскитовых островков в тонких пленках цирконата-титаната свинца
Министерство образования и науки Российской Федераци, № 16.2811.2017/4.6
Пронин И.П.
1,2, Каптелов Е.Ю.
1,2, Сенкевич С.В.
1,2, Киселев Д.А.
2,3, Осипов В.В.
1, Пронин В.П.
21Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru, kaptelov@mail.ioffe.ru, SenkevichSV@ mail.ioffe.ru, dm.kiselev@misis.ru, shao_98@mail.ru, thphys@herzen.spb.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Исследованы особенности микроструктуры и пьезоэлектрического отклика перовскитовых островков в матрице пирохлорной фазы в тонких пленках цирконата-титаната свинца, сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления. Выявлена радиальная неоднородность морфологии поверхности островков и пьезоотклика. Обсуждается роль двумерных механических напряжений, действующих на тонкую пленку со стороны кремниевой подложки. Ключевые слова: высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки цирконата-титаната свинца, перовскитовые островки, силовая микроскопия пьезоотклика
- К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
- D.L. Polla. Microelectron. Eng. 29, 51 (1995)
- N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, Y.-S. Kang. Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 32, 111 (2007)
- W. Eerenstein, N.D. Mathur, J.F. Scott. Nature 442, 759 (2006)
- J.-S. Yang, Y.-S. Kang, I.-Y. Kang, S.-M. Lim, S.-J. Shin, J.-W. Lee, K.-H. Hur. IEEE Transact. ultrason. Ferroelectr. Frequency Control 64, 617 (2017)
- Б. Яффе, У. Кук, Г. Яффе. Пьезоэлектрическая керамика. Мир, М. (1974). 288 с
- Yu. Xu Ferroelectric materials and their applications. N. Holland--Amsterdam--London--N. Y.--Tokyo (1991). 391 p
- R. Bruchhaus, D. Pitzer, M. Schreiter, W. Wersing. J. Electroceram. 3, 151 (1999)
- Sh. Sun, Y.-M. Wang, P.A. Fuierer, B.A. Tuttle. Integrated Ferroelectrics 23, 25 (1999)
- В.В. Осипов, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. ФТТ 57, 1748 (2015)
- E. Khomyakova, M. Sadl, H. Ursic, J. Daniels, B. Malic, A. Bencan, D. Damjanovic, T. Rojac. ACS Appl. Mater. Interfaces 8, 19626 (2016)
- T. Ogawa, A. Senda, T. Kasanami. Jpn. J. Appl. Phys. 30, 2145 (1991)
- K. Ijima, R. Takayama, Y. Tomita, I. Ueda. J. Appl. Phys. 60, 2914 (1986)
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, А.В. Гольцев, В.П. Афанасьев. ФТТ 45, 1685 (2003)
- S. Buhlmann, B. Dwir, J. Baborowski, P. Muralt. Appl. Phys. Lett. 80, 3195 (2002)
- F. Sun, G. Tian, C. Chen, X. Deng, P. Li, Z. Chen, W. Yang, X. Gao, Z. Fan, M. Qin, M. Zeng, X. Lu, G. Zhou, D. Chen, J.-M. Liu. Ceram. Int. 44, 21725 (2018)
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, В.П. Пронин, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
- A.L. Kholkin, K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux, N. Setter. Integrated Ferroelectrics 22, 525 (1998)
- В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
