Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Феноменологические модели зарождения и роста металла на полупроводнике
Переводная версия: 10.1134/S1063783419120394 
Минобрнауки России, Дальневосточного отделения Российской академии наук, 0262-2018-0030
Плюснин Н.И.
1
1Институт автоматики и процессов управления ДО РАН, Владивосток, Россия 
Email: plusnin@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
На основе экспериментальных данных, полученных в одинаковых экспериментальных условиях с использованием метода осаждения из горячей стенки, обнаружены и выделены четыре режима роста металла на полупроводниковой подложке. Данные режимы реализуются при определенных соотношениях между поступательной кинетической энергией пара, осаждаемого на подложку, и его температурой. Предложен механизм адаптации к подложке нанофазного смачивающего покрытия металла, когда реализуется режим роста чистого металла, и структурная модель этого покрытия. Ключевые слова: смачивание, рост, взаимодействие пара с подложкой, система металл-полупроводник, электронная и оптическая спектроскопия.
- К.Н. Ту, Дж.У. Мейер, К. Поута. В кн.: Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, Дж.У. Мейер. Мир, М. (1982) С. 361
- R.M. Walser, R.W. Bene. Appl. Phys. Lett. 28, 10, 624 (1976)
- M. Roney. Appl. Phys. Lett. 42, 7 577 (1983)
- B.Y. Tsaur, S.S. Lau, J.W. Mayer, M.-A. Nicolet. Appl. Phys. Lett. 38, 11, 922 (1981)
- R. Pretorius. В кн.: Materials Reserch Society Symposia Proceedings. V. 25. Thin films and Interfaces II / Ed. J.E.E. Baglin, D.R. Campbell, W.K. Chu. Elsiever Science, N. Y.--Amsterdam--Oxford (1984) P. 15
- R. Kaischew. J. Cryst. Growth, 51, 3 643 (1981)
- M.H. Grabow, G.H. Gilmer. Thin Solid Films 194, 3 333 (1988)
- C. Satoko, S. Ohnishi, T. Zeng-ju. Appl. Surf. Sci. 34, 277 (1988)
- L.J. Brillson. Surface Sci. Rep. 2, 2 123 (1982)
- Н.И. Плюснин, А.П. Миленин. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 3, 36 (1997)
- Н.И. Плюснин, А.П. Миленин. В кн.: Дальневосточный мат. сб. Вып. 2. Институт прикладной математики ДВО РАН. Владивосток (1996) С. 153
- В.Г. Лифшиц, Н.И. Плюснин. Поверхность. Физика, химия и механика 9, 78 (1984).
- Н.И. Плюснин. Фазы, стабилизированные подложкой, и процессы формирования границы раздела в гетероструктурах на основе переходного 3d-металла (Cr, Co) и кремния. Дис. физ.-мат. наук. ИАПУ ДВО РАН. Владивосток 2000)
- Н.И. Плюснин, В.М. Ильященко, С.В. Крылов, С.А. Китань. Письма в ЖТФ 33, 11, 79 (2007)
- N.I. Plusnin. Mod. Electron. Mater. 3, 2 57 (2017)
- N.I. Plusnin. Mod. Electron. Mater. 3, 4 131 (2017)
- А. Кроуэлл. В кн.: Межфазовая граница газ --- твердое тело / Под ред. Э. Флада. Мир, М. (1970) С. 150
- N.I. Plusnin. Defect Diffusion Forum 386, 9 (2018)
- A.M. Maslov, N.I. Plusnin. Defect, Diffusion Forum, 386, 15 (2018).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
