Квазистационарные процессы диэлектрической релаксации в тонких поликристаллических пленках PZT
Иванов В.В.1, Голубева Е.Н.1, Сергеева О.Н.
1,2, Некрасова Г.М.2, Пронин И.П.3, Киселев Д.А.
4
1Тверской государственный университет, Тверь, Россия
2Тверская государственная сельскохозяйственная академия, Тверь, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: o_n_sergeeva@mail.ru, dm.kiselev@misis.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2020 г.
Принята к печати: 21 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2020 г.
Проведены исследования релаксационных процессов в поликристаллических пленках PZT, сформированных на кремниевых подложках при квазистатическом изменении внешнего электрического поля. Показано, что диэлектрическая релаксация характеризуется, по крайней мере, тремя временами релаксации, зависящими от направления самополяризации в пленке, величины поляризующего поля, а также от температуры отжига пленок PZT. Ключевые слова: тонкие поликристаллические пленки PZT, ВЧ магнетронное распыление, релаксационные явления.
- К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
- J.F. Scott. Science 315, 954 (2007)
- Y. Podgorny, K. Vorotilov, AIP Advances 6, 095025 (2016)
- Ю.В. Подгорный, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, А.Н. Ланцев. Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения 16 (2), 237 (2016)
- Л.А. Делимова, Е.В. Гущина, В.С. Юферев, И.В. Грехов. ФТТ 56, 2366 (2014)
- L.A. Delimova, E.V. Guschina, D.S. Seregin K.A. Vorotilov, A.S. Sigov. J. Appl. Phys. 121, 224104 (2017)
- L. Delimova, E. Guschina, N. Zaitseva, S. Pavlov, D. Seregin, K. Vorotilov, A. Sigov. J. Mater. Res. 32, 1618 (2017)
- А.Г. Канарейкин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин, А.Ю. Сергеенко, О.Н. Сергеева. ФТТ 58, 2242 (2016)
- И.П. Пронин, Е.А. Тараканов, Е.Ю. Каптелов Т.А. Шаплыгина, В.П. Афанасьев, А.В. Панкрашкин. ФТТ 44, 739 (2002)
- И.Ю. Тентилова, С.А. Кукушкин, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин, В.Л. Уголков. Письма в ЖТФ 37, 37 (2011).
- Г.М. Акбаева, В.З. Бородин. ФТТ 57, 501 (2015)
- O.V. Malyshkina, E.V. Barabanova, A.I. Ivanova, A.V. Daineko \& V.A. Golovnin. Ferroelectrics 475, 82 (2015)
- M.-G. Han, M.S.J. Marshall, L. Wu, M.A. Schofield, T. Aoki, R. Twesten, J. Hoffman, F.J. Walker, C.H. Ahn, Y.-N. Zhuet. Nature Commun. 5, 4693 (2014)
- В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
- В.В. Иванов, Е.Н. Голубева, О.Н. Сергеева, Г.М. Некрасова, И.П. Пронин, Д.А. Киселев. Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур инаноматериалов. Межвуз. сб. науч. тр. Тверской гос. ун-т, Тверь 10, 270 (2018).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.