Транспортные и морфологические характеристики тонких пленок YBa2Cu3O7-x при импульсном лазерном напылении со скоростной фильтрацией лазерного эрозионного факела
Ильин А.И.1, Иванов А.А.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: alivil2017@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 9 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2021 г.
Режимы импульсного лазерного напыления со скоростной фильтрацией эрозионного факела с частотой 4-33 Hz при разном времени осаждения на подложки SrTiO3(100) при 730-750oC, скорости отфильтрованных частиц применили для изменения характеристик зависимости R (T) пленок YBa2Cu3O7-x толщиной 150-200 nm. Осаждение при скоростях фильтрации лазерного факела ~ 30 Hz формировало ровную поверхность с сопротивлением при комнатной температуре в 2 раза большим, чем в пленках, полученных без фильтрации, что предполагало отсутствие путей легкого транспорта дырок в плоскости "ab". Ширина сверхпроводящего перехода Delta T составила 2.5-2.9 K, а T(R=0) до 85.8 K при кислородном индексе y=6.85, соответствующем характеристикам хороших пленок такой толщины. Кислородный индекс в пленках был выше (6.85-7.04) и ниже (6.85-6.8) при частоте фильтрации 18-4.5 Hz и 21-33 Hz, соответственно. Исследования поверхности методами сканирующей электронной микроскопии позволили обнаружить перестройку кристаллической структуры при осаждении и ее влияние на транспортные характеристики пленок. Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, рельеф поверхности, транспортные характеристики пленок, эволюция пленки, SrTiO3.
- N.E. Hussey. J. Phys.: Condens. Matter 20, 12, 123201 (2008)
- U. Poppe, N. Klein, U. Dahne, H. Soltner, C.L. Jia, B. Kabius, K.Urban, A. Lubig, K. Schmidt, S. Hensen, S. Orbach, G. Muller, H. Piel. J. Appl. Phys. 71, 11, 5572, (1992)
- D. Goldschmidt, Y. Eckstein. Physica C 200, 1, 99 (1992)
- Y. Ando, G.S. Boebinger, A. Passner, T. Kimura, K. Kishio. Phys. Rev. Lett. 75, 25, 4662 (1995)
- T. Ito, K. Takenaka, S. Uchida. Phys. Rev. Lett. 70, 25, 3995 (1993)
- B. Wuyts, V.V. Moshchalkov, Y. Bruynseraede. Phys. Rev. B 53, 14, 9418 (1996)
- B. Dam, J.H. Rector, J.M. Huijbregtse, R. Griessen. Physica C 305, 1, 1 (1998)
- M. Reiner, T. Gigl, R. Jany, G. Hammerl, C. Hugenschmidt. Phys. Rev. B 97, 14, 144503 (2018)
- M.M. Abdelhadi, J.A. Jung. Phys. Rev. B 68, 18, 184515 (2003)
- J. Ye, K. Nakamura. Phys. Rev. B 48, 10, 7554 (1993)
- А.И. Ильин, А.А. Иванов, О.В. Трофимов, А.А. Фирсов, А.В. Никулов, А.В. Зотов. Микроэлектроника 48, 2, 147 (2019)
- А.И. Ильин, О.В. Трофимов, А.А. Иванов. ФТТ 62, 9, 1555 (2020)
- А.А. Бурлаков, В.Л. Гуртовой, А.И. Ильин, А.В. Никулов, В.А. Тулин. Письма в ЖЭТФ 99, 3, 190 (2014)
- A.A. Burlakov, A.V. Chernykh, V.L. Gurtovoi, A.I. Il'in, G.M. Mikhailov, A.V. Nikulov, V.A. Tulin. Phys. Lett. A 381, 30, 2432 (2017)
- V.L. Gurtovoi, A.I. Ilin, A.V. Nikulov, V.A. Tulin V.A. Low Temper. Phys. 36, 10, 974-981 (2010)
- V.L. Gurtovoi, A.I. Ilin, A.V. Nikulov. Phys. Lett. A 384, 26, 126669 (2020)
- B. Bucher, P. Steiner, J. Karpinski, E. Kaldis, P. Wachter. Phys. Rev. Lett. 70, 13, 2012 (1993)
- А.И. Головашкин. Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева РАН, Москва. Препринт. 10. 1-32, (2005)
- Y. Koike, Y. Iwabuchi, S. Hosoya, N. Kobayashi, T. Fukase. Physica C 159, 1, 105 (1989).
- C.N.R. Rao, J. Gopalakrishnan, A.K. Santra, V. Manivannan. Physica C 174, 1, 11 (1991)
- A.I. Il'in, A.V. Andreeva, B.N. Tolkunov. Mater. Sci. Forum 207-209, 625 (1996)
- А.И. Ильин, А.В. Андреева. Физика металлов и металловедение 80, 132 (1995)
- C. Gerger, D. Anslemetti, J.G. Bednorz, J. Mannhart, D.G. Schlom. Nature 350, 6316, 279 (1991)
- O. Malyi, L. Klinger, D.J. Srolovitz, E. Rabkin. Acta Mater. 59, 2872 (2011)
- D. Chatain, V. Ghetta, P. Wynblatt. Interface Sci. 12, 7 (2004).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.