Влияние переходных металлов на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок
Попов А.И.
1,2, Баринов А.Д.
1,2, Емец В.М.
1, Кастро Арта Р.А.
3, Колобов А.В.
3, Кононов А.А.
3, Овчаров А.В.
4, Чуканова Т.С.
11Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
3Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
4Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: popovai2009@gmail.com, barinovad@mpei.ru, vyemets@mail.ru, recastro@mail.ru, akolobov@me.com, rakot1991@mail.ru, ovcharov.91@gmail.com, ChukanovaTS@mpei.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2021 г.
Принята к печати: 10 июня 2021 г.
Выставление онлайн: 10 августа 2021 г.
Проведены исследования влияния переходных металлов на фазовый состав, электрические и диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок, изготовленных плазмохимическим разложением полифенилметилсилоксана. Получены частотные, температурные и концентрационные зависимости указанных свойств. Показано, что с увеличением концентрации металла электропроводность непрерывно возрастает, а концентрационные зависимости диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь имеют минимум при концентрациях металла 0.5-2 аt.%. Анализируются возможные причины этого явления. Ключевые слова: кремний-углеродные пленки, переходные металлы, структура, электропроводимость, диэлектрическая проницаемость, диэлектрические потери, концентрационные зависимости, поляризация.
- vS. Mevskinis, A. Tamulevivciene. Mater. Sci. (Medvziagotyra) 17, 4, 358 (2011)
- А.И. Попов, А.Д. Баринов, В.М. Емец, Т.С. Чуканова, М.Л. Шупегин. ФТТ 62, 10, 1612 (2020)
- F. Mangolini, B.A. Krick, T.D.B. Jacobs, S.R. Khanal, F. Streller, J.B. McClimon, J. Hilbert, S.V. Prasad, T.W. Scharf, J.A. Ohlhausen, J.R. Lukes, W.G. Sawyer, R.W. Carpick. Carbon. 130, 127 (2018). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2017.12.096
- E.V. Zavedeev, O.S. Zilova, M.L. Shupegin, A.D. Barinov, N.R. Arutyunyan, T. Roch, S.M. Pimenov. Appl. Phys. A 122, 961 (2016). DOI: 10.1007/s00339-016-0508-7
- М.А. Величко, Ю.П. Гладких. Науч. вед-ти Белгородского нац. исслед. ун-та. Сер. Математика. Физика 6, 227; 42, 115 (2016)
- А.Д. Баринов, А.И. Попов, М.Ю. Пресняков. Неорган. материалы 53, 7, 706 (2017)
- А.Д. Баринов, Т.Д. Гуринович, А.И. Попов, Т.С. Чуканова, М.А. Шапетина, М.Л. Шупегин. Неорган. материалы. 56, 8, 844 (2020)
- A. Popov. Disordered Semiconductors: Physics and Application. 2nd ed. Pan Stanford Publish. (2018). 328 p
- М.Д. Малинкович, Ю.Н. Пархоменко, Д.С. Поляков, М.Л. Шупегин. Материалы электронной техники 1, 3, 41 (2010)
- T. Tamulevivcius, D. Tamulevivciene, A. Virganavivcius, V. Vasiliauskas, vS. Kopustinskas, S. Mevskinis. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 341, 1 (2014)
- М.Ю. Пресняков, А.И. Попов, Д.С. Усольцева, М.Л. Шупегин, А.Л. Васильев. Рос. нанотехнологии 9, 7-8, 70 (2014)
- D.B.K. Sheeja, C.Q. Tay et al. J. Mater. Sci. 38, 421 (2003)
- C.M. Adelhelm, M. Balden, Rinke et al. J. Appl. Phys. 105, 033522 (2009)
- A. Bozhko, T. Takagi, T. Takeno. J. Phys. Condens. Matter 16, 46, 8447 (2004)
- S.M. Pimenov, E.V. Zavedeev, N.R. Arutyunyan, O.S. Zilova, A.D. Barinov, M.Yu. Presniakov, M.L. Shupegin. Surface \& Coatings Technology 402, 126300 (2020)
- Г. Фрёлих. Теория диэлектриков. Диэлектрическая проницаемость и диэлектрические потери. ИЛ, М. (1960). 251 с
- A.K. Das, R. Hatada, W. Ensinger. J. Alloys Comp. 758, 194 (2018)
- А.И. Попов, В.П. Афанасьев, А.Д. Баринов Ю.Н. Бодиско, А.С. Грязев, И.Н. Мирошникова, М.Ю. Пресняков, М.Л. Шупегин. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 9, 49 (2019)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
