Эллипсометрия нанокристаллических пленок VO2, VO2 : Mg, VO2 : Ge
Кастро Р.А.1, Ильинский А.В.2, Смирнова Л.М.1, Пашкевич М.Э.3, Шадрин Е.Б.2
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: recastro@mail.ru
Поступила в редакцию: 2 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 2 августа 2021 г.
Принята к печати: 4 августа 2021 г.
Выставление онлайн: 14 сентября 2021 г.
Эллипсометрическим методом измерены спектры показателя преломления n(λ) и коэффициента экстинкции k(λ) тонких пленок VO2, VO2 : Mg, VO2 : Ge. Для нелегированной пленки VO2 на длине волны λ=632.8 nm вблизи фазового перехода изолятор-металл исследованы петли термического гистерезиса n(T) и k(T). Дана интерпретация полученных результатов на основе соотношения Мосса и представления об изменении n(T) и k(T) при примесной вариации плотности материала, а также на основе идеологии о кулоновской трансформации функции плотности состояний в сильнокоррелированных материалах. Ключевые слова: эллипсометрия, диоксид ванадия, фазовый переход изолятор-металл, сильнокоррелированные материалы.
- N.F. Mott. Metal--Insulator Transitions. Nauka, M. (1979). [Taylor \& Francis Ltd, London (1974). 342 p.]
- А.А. Бугаев, Б.П. Захарченя, Ф.А. Чудновский. Фазовый переход металл--полупроводник и его применение. Наука, Л. (1979). 183 с
- W. Bruckner, H. Opperman, W. Reichelt, G. Wolf, F.A. Chudnovsky, E.I. Terukov. Vanadium dioxide. Academy-Verlag, Berlin (1983)
- А.В. Ильинский, О.Е. Квашенкина, Е.Б. Шадрин. ФТП 46, 4, 439 (2012)
- V.G. Golubev, V.Yu. Davydov, N.F. Kartenko, D.A. Kurdyukov, A.V. Medvedev, A.B. Pevtsov, A.V. Scherbakov, E.B. Shadrin. Appl. Phys. Lett. 79, 14, 2127 (2001)
- D. Wegkamp, J. Stahler. Progress. Surf. Sci. 90, 4, 464 (2015)
- A. Tselev, A. Kolmakov, N. Lavrik, S. Kalinin. Adv. Funct. Mater. 23, 20, 2635 (2013)
- P. Schilbe. Phys. B: Condens. Matter 316-317, 600 (2002)
- А.В. Ильинский, Р.А. Кастро, М.Э. Пашкевич, Е.Б. Шадрин. ФТП 54, 4, 331 (2020)
- X. Tan, T. Yao, R. Long, Z. Sun, Y. Feng, H. Cheng, X. Yuan, W. Zhang, Q. Liu, C. Wu, Y. Xie, S. Wei. Sci. Rep. 2, 466 (2012)
- M. Maaza, D. Hamidi, A. Simo, T. Kerdja, A.K. Chaudhary, J.B. Kana-Kana. Opt. Commun. 285, 1190 (2012)
- A.S. Oleynik. Proc. Fifth Int. Conf. Actual Problems. Electron Devices Engineering. Saratov, Russia, 18-19 Sept. (2002). INSPEC Accession Number: 7510192
- Н.В. Ионина, В.В. Орлов, А.В. Павлов. Оптические технологии искусственного интеллекта. Изд-во СПб, НИУ ИТМО (2012). 73 с
- K. Dai, J. Lian, M.J. Miller, J. Wang, Y. Shi, Y. Liu, H. Song, X. Wang. Opt. Mater. Express 9, 2, 663 (2019)
- C. Wan, Z. Zhang, D. Woolf, C.M. Hessel, J. Rensberg, J.M. Hensley, Y. Xiao, A. Shahsafi, J. Salman, S. Richter, Y. Sun, M.M. Qazilbash, R. Schmidt-Grund, C. Ronning, S. Ramanathan, M.A. Kats. Annalen der Physik 531, 10, 1 (2019)
- О.Г. Ревинская, С.И. Борисенко, Н.С. Кравченко. Аномальная дисперсия света в полупроводниках. Изд-во Томского политех. ун-та (2012). 300 с
- А.В. Ильинский, О.Е. Квашенкина, Е.Б. Шадрин. ФТП 46, 4, 439 (2012)
- M. Gatti, F. Bruneval, V. Olevano, L. Reining. Phys. Rev. Lett. 99, 266402 (2007)
- C. Batista, R.M. Ribeiro, V. Teixeira. Nanoscale Res. Lett. 6, 1, 301 (2011)
- Г.С. Ландсберг. Оптика. Физматлит., М. (2010). 848 с
- Handbook on Semiconductor / Eds T.S. Moss, P.T. Landsberg. Elsevier, Amsterdam (1992). 1060 p
- V.N. Antonov, L.V. Bekenov, A.N. Yaresko. Adv. Condens. Matter Phys. Article ID 298928 (2011). 107 p
- V. Apinyan, T.K. Kopec. J. Low Temp. Phys. 178, 295 (2015)
- А.В. Ильинский, Р.А. Кастро, М.Э. Пашкевич, Е.Б. Шадрин. ЖТФ 54, 4, 331 (2020)
- В.Н. Андреев, В.А. Климов. ФТТ 61, 8, 1519 (2019)
- Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников. Наука, М. (1979). 416 с
- Л.Т. Бугаенко, С.М. Рябых, А.Л. Бугаенко. Вестн. МГУ 49, 6, 363 (2008)
- O.L. Anderson, E. Schreiber. J. Geophys. Res. 70, 6, 1463 (1965)
- Y. Liu, P.H. Daum. Aerosol Sci. 39, 11, 974 (2008)
- T.S. Moss, G.J. Burrell, B. Ellis. Semiconductor Opto-Electronics. Halsted Press Division, Wiley (1973). 454 p.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.