Влияние сильного статического электрического поля и нагрева на характеристики высокочастотного импеданса структур металл--сегнетоэлектрик--полупроводник
Russian Foundation for Basic Research, mk, 19-29-03042
Минобрнауки России, государственное задание, АААА-А19-119032890027-0
Белорусов Д.А.
1, Гольдман Е.И.
1, Чучева Г.В.
11Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
Email: gvc@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 31 января 2022 г.
В окончательной редакции: 1 февраля 2022 г.
Принята к печати: 2 февраля 2022 г.
Выставление онлайн: 21 февраля 2022 г.
Проведены исследования влияния нагрева и сильных полевых, но допробойных, воздействий на высокочастотные характеристики импеданса гетероэпитаксиальных структур Ni-Ba0.8Sr0.2TiO_3-pSi с толщиной сегнетоэлектрика 50 nm. Показано, что независимо от полярности полевого стресса, характеристики сдвигались в сторону положительного смещения, и ширина петель гистерезиса уменьшалась; уровни плато практически оставались неизменными. Нагрев до 121oC приводил к изменению уровней верхнего плато характеристик: для емкости он снижался, а для проводимости - поднимался; ветви на петле не просто сужались и сдвигались, а менялись местами по сравнению с исходной зависимостью (реверс петли). Данные результаты могут быть объяснены: при полевом воздействии - генерацией дополнительных электронных состояний, локализованных в буферном слое на границе раздела кремний - Ba1-xSrxTiO3, а при нагреве - возникновением эффектов запаздывания вследствие развития флуктуационных процессов, лежащих в основе размытия фазового перехода из сегнетоэлектрического в параэлектрическое состояние. Ключевые слова: высокочастотные полевые характеристики импеданса, полевой стресс, петли гистерезиса, генерация дополнительных локализованных электронных состояний, эффекты запаздывания, флуктуационные процессы, размытый фазовый переход.
- V.R. Mudinepalli, L. Feng, W.-C. Lin., B.S. Murty. J. Adv. Ceram. 4, 46 (2015)
- К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройств. / Под ред. А.С. Сигова. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
- М.С. Иванов, М.С. Афанасьев. ФТТ 51, 7, 1259 (2009)
- Д.А. Киселев, М.С. Афанасьев, С.А. Левашов, Г.В. Чучева. ФТТ 57, 6, 1134 (2015)
- Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ПТЭ 6, 110 (1997)
- J. Nissan-Cohen. Appl. Surf. Sci. 39, 1--4, 511 (1989)
- T.R. Oldham, F.B. McLean, H.E. Boesch, J.M. McCarrity. Semicond. Sci. Technol. 4, 12, 986 (1989)
- M.L. Reed. Semicond. Sci. Technol. 4, 12, 980 (1989)
- В.А. Гриценко. УФН 52, 9, 869 (2009)
- E.I. Goldman, G.V. Chucheva, D.A. Belorusov. Ceram. Int. 47, 15, 21248 (2021)
- Д.А. Белорусов, Е.И. Гольдман, Г.В. Чучева. ФТТ 63, 11, 1887 (2021)
- А.П. Леванюк, В.В. Осипов, А.С. Сигов, А.А. Собинин. ЖЭТФ, 76, 1, 345 (1979)
- А.П. Леванюк, Б.В. Мощинский, А.С. Сигов. ФТТ 23, 7, 2037 (1981)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.