Мастеров Д.В.
1, Павлов С.А.
1, Парафин А.Е.
11Институт физики микроструктур РАН --- филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, parlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.
Принята к печати: 12 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 21 июня 2022 г.
Посвящена исследованию морфологии и электрофизических характеристик эпитаксиальных пленок YBCO, полученных методом лазерного распыления, при осаждении YBCO в окна задающей маски (ЗМ). Совершенствованию морфологии пленки YBCO посвящено большое количество работ, где снижение плотности и размеров дефектов в пленках YBCO осуществляется, за счет снижения температуры роста, но при этом одновременно ухудшаются и электрофизические параметры пленок. Кардинальное отличие нашего подхода, а именно, использование предложенного нами метода задающей маски, заключается в том, что мы осаждаем YBCO на подложку с заранее сформированной маской, задающей топологию структуры. Нами показано, что морфология пленки YBCO вблизи границы с ЗМ может радикально отличаться от морфологии пленки YBCO в широких областях вдали от границы ЗМ. При этом в режиме роста, оптимальном по электрофизическим характеристикам, пленка YBCO в узких протяженных окнах ЗМ обладает совершенной ("very smooth") поверхностью, тогда как плотность дефектов на участках пленки вдали от границы пленка - ЗМ составляет величину более 107 cm-2. Наблюдаемый эффект открывает возможность формирования YBCO-структур с бездефектными областями в нужных местах подложки, и затем воспроизводимого формирования в этих областях критических элементов схемы субмикронного масштаба. Ключевые слова: нано- и микроструктуры, дефекты, рост в локальных областях, YBCO.
- https://www.ceraco.de/ybco-films/film-types/
- R.I. Chakalova, T.J. Jackson, G. Passerieux, I.P. Jones, P. Mikheenko, C.M. Muirhead, C.N.W. Darlington. Phys. Rev. B 70, 214504, (2004)
- J.-C. Nie, M. Koyanagi, A. Shoji. Appl. Surf. Science 172, 207, (2001)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. Письма в ЖТФ 42, 11, 82 (2016)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов. ФТТ 62, 9, 1398 (2020)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 90, 10, 1677 (2020)
- A.C. Westerheim, Alfredo C. Anderson, D.E. Oats, S.N. Basu, D. Bhatt, M.J. Cima. J. Appl. Phys. 75, 1, 393 (1994)
- S.J. Pennycook, M.F. Chisholm, D.E. Jesson, R. Feenstra, S. Zhu, X.Y. Zheng, D.J. Lownde. Physica C 202, 1 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.