Вышедшие номера
Диффузия фосфора и галлия из напыленного слоя фосфида галлия в кремний
Зикриллаев Н.Ф.1, Ковешников С.В.1, Турекеев Х.С.1, Норкулов Н.2, Тачилин С.А.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
2Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан
Email: axmet-8686@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 4 июля 2022 г.
Принята к печати: 4 июля 2022 г.
Выставление онлайн: 23 августа 2022 г.

Исследовалась диффузия из слоя фосфида галлия GaP, напыленного на поверхность кремния. После диффузии образцы кремния исследовались методом Ван-дер-Пау и с помощью сканирующего электронного микроскопа, с целью определения концентрационного распределения примесных атомов фосфора и галлия. Ключевые слова: диффузия, фосфид галлия, кремний, растворимость, концентрация, бинарные комплексы.