Вышедшие номера
Определение растворимости кобальта в монокристаллическом кремнии методом нейтронно-активационного анализа
Ташметов М.Ю.1, Махкамов Ш.1, Тиллаев T.С.1, Эрдонов М.Н.1, Холмедов Х.М.2
1Институт ядерной физики АН Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
2Ташкентский университет информационных технологий им. Мухаммада аль-Хорезмий, Ташкент, Узбекистан
Email: makhkamov@inp.uz, muzaffarerdonov1978@yandex.ru, erdonov@inp.uz
Поступила в редакцию: 23 февраля 2023 г.
В окончательной редакции: 23 февраля 2023 г.
Принята к печати: 24 февраля 2023 г.
Выставление онлайн: 28 марта 2023 г.

Методом инструментального нейтронно-активационного анализа исследована растворимость в монокристаллическом кремнии примеси кобальта, легированного путем термодиффузии. Показано, что в n-Si в интервале температур диффузии 1000-1250oС общая растворимость примеси 60Со изменяется в пределах концентрации 2.8·1014-9·1015 cm-3, а электрически активная концентрация увеличивается от 1013 до 3·1014 cm-3. Для уменьшения погрешности при определении концентрации 60Со в легированных образцах Si, предложено использовать материнский стабильной изотоп, а не дочерний радионуклид кобальта в качестве лигатуры. Ключевые слова: монокристаллический кремний, примесь кобальта, диффузия, нейтронно-активационный анализ, растворимость, облучение, радионуклид, концентрация.