Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Создание однородного поля температурного градиента для реализации метода термомиграции в кремнии
Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственное задание ЮРГПУ(НПИ), Разработка физико-технических основ объемного легирования акцепторной примесью микрообластей кремниевых пластин методом термомиграции жидких зон, FENN-2023-0005
Середин Б.М.
1, Попов В.П.
1, Заиченко А.Н.
1, Малибашев А.В.
1, Гаврус И.В.
1, Минцев А.А.1, Скиданов А.А.
2
1Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, Новочеркасск, Россия 
2АО "ВЗПП-Микрон", Воронеж, Россия
2АО "ВЗПП-Микрон", Воронеж, Россия
Email: seredinboris@gmail.com, popovnpi@gmail.com, za_al@mail.ru, a_malib@mail.ru, gavrus.igor.v@ya.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 17 июля 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Компьютерным моделированием температурного поля плоского резистивного нагревателя в виде параллельных полос, применяемого для проведения термомиграции жидких зон в пластинах кремния, выявлены два типа локальных неоднородностей градиента температуры. Монотонные радиальные изменения температуры связаны с охлаждением или нагревом периферии пластины, а периодические - с полосами нагревателя. Оба типа неоднородностей подтверждены наблюдаемыми траекториями термомиграции системы зон на основе алюминия. Найдены условия создания однородного поля температурного градиента для применения термомиграции в полупроводниковой технологии. Ключевые слова: термомиграция, градиент температуры, моделирование.
- W.G. Pfann. Zone Melting. Wiley, N.Y. (1963)
- В.Н. Лозовский, Л. С. Лунин, В. П. Попов. Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов. Металлургия, М. (1987)
- M. Chang, R. Kennedy .J. Electrochem. Soc. 128, 10, 2193 (1981). doi: 10.1149/1.2127775
- B. Lu, G. Gautier, D. Valente, B. Morillon, D. Alquier. Microelectron. Eng. 149, 97 (2016). doi:10.1016/j.mee.2015.10.004
- В.Н. Лозовский, Л.С. Лунин, Б.М. Середин. Электрон. техника. Сер. 2. Полупр. пр. 2-3 (236-237), 105 (2015)
- В.В. Кравчина, О.С. Полухiн. Радiоелектронiка, iнформатика, управлiння 3 (2018). doi:10.15588/1607-3274-2018-3-2
- О.С. Полухiн, В.В. Кравчина. Техн. и констр. в электрон. аппаратах 5-6, 33 (2021). doi:10.15222/TKEA2021.5-6.33
- A.C. Norskog, Jr., R.M. Warner. J. Appl. Phys. 52, 3, 1552 (1981). doi: 10.1063/1.329637
- M. Eslamian, M.Z. Saghir. FDMP 8, 4, 353 (2012). doi:10.3970/fdmp.2012.008.353
- A.A. Lomov, B.M. Seredin, S.Yu. Martyushov, I.V. Gavrus. Proc. SPIE --- Int. Soc. Opt. Eng. 14, 1215703 (2022). doi:10.1117/12.2622306
- H.Е. Cline, Т.R. Anthony. J. Appl. Phys. 47, 6, 2325 (1976). doi: 10.1063/1.323009
- Б.М. Середин, А.С. Полухин, А.И. Солодовник. Электрон. техника Сер. 2. Полупр. пр. 5 (239), 65 (2015)
- В.П. Исаченко, В.А. Осипова, А.С. Сукомел. Теплопередача. Энергоиздат, М. (1981)
- Ansys, сайт. URL: https://www.ansys.com
- Ю.Е. Шелудяк, Л.Я. Кашпоров, Л.А. Малинин, В.Н. Цалков. Теплофизические свойства компонентов горючих систем. НПО "Информ ТЭИ", М. (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
