Влияние кислорода на процесс формирования наноструктурированных пленок оксида индия-олова
Аксенова В.В.
1, Смирнова И.П.
1, Марков Л.К.
1, Павлюченко А.С.
1, Яговкина М.А.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: valeriya11-12@mail.ru, irina@quantum.ioffe.ru, l.markov@mail.ioffe.ru, alexey.pavluchenko@gmail.com, ymasha@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 30 июля 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Исследовалось влияние наличия кислорода в смеси рабочих газов на процесс формирования пленок, полученных магнетронным распылением оксида индия-олова при высоких температурах. Добавление кислорода в рабочую атмосферу меняет механизм роста пленок. Пленки, выращенные в бескислородной плазме, представляют собой массив нитевидных нанокристаллов, а пленки, выращенные в кислородосодержащей среде, имеют слабо структурированную поверхность. По данным рентгеноструктурного анализа пленки различаются как по направлению преимущественной кристаллографической ориентации, так и по ее степени. В работе также сравниваются оптические характеристики исследуемых пленок. Ключевые слова: наноструктурированные пленки, ITO, прозрачные проводящие оксиды, магнетронное распыление, рентгенофазовый анализ.
- D.I. Markina, A.P. Pushkarev, I.I. Shishkin, F.E. Komissarenko, A.S. Berestennikov, A.S. Pavluchenko, I.P. Smirnova, L.K. Markov, M. Vengris, A.A. Zakhidov, S.V. Makarov. Nanophotonics 9, 3977 (2020)
- M.J. Park, C.U. Kim, S.B. Kang, S.H. Won, J.S. Kwak, C.-M. Kim, K.J. Choi. Adv. Opt. Mater. 5, 1600684 (2017)
- S. Banerjee, S. Mandal, A.K. Barua, N. Mukherjee. Catal. Commun. 87, 86 (2016)
- N. Yamamoto, K. Morisawa, J. Murakami, Y. Nakatani. ECS Solid State Lett. 3, 84 (2014)
- H.K. Yu, J.L. Lee. Sci. Rep. 4, 1, 6589 (2014)
- L.K. Markov, A.S. Pavluchenko, I.P. Smirnova, V.V. Aksenova, M.A. Yagovkina, V.A. Klinkov. Thin Solid Films 774, 139848 (2023)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
