Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование режимов формирования структур для метаповерхностей и конфокальных оптических систем

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56751.5160k

Jinan Municipal Government, China, Innovation Team Program of Jinan, 202228032

Гусев Е.Ю.¹, Авдеев С.П.¹, Поляков В.В.¹, Ren X.², Chen D.², Han L.³, Zhang W.^2,3, Агеев O.A.^1,4

¹Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия Institute of Nanotechnologies, Electronics and Equipment Engineering, Southern Federal University, Taganrog, Russia

Institute of Nanotechnologies, Electronics and Equipment Engineering, Southern Federal University, Taganrog, Russia

²School of Optoelectronic Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China

³Laser Institute, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China

⁴Южный федеральный университет, НОЦ "Нанотехнологии", Таганрог, Россия Research and Educational Center Nanotechnology, Southern Federal University, Taganrog, Russia

Research and Educational Center Nanotechnology, Southern Federal University, Taganrog, Russia

Email: eyugusev@sfedu.ru

Поступила в редакцию: 16 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 17 августа 2023 г.

Принята к печати: 30 октября 2023 г.

Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Получены структуры поликристаллический кремний/оксид кремния/подложка кремния методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Исследовано влияние мощности разряда, давления газовой смеси, а также температуры вакуумного отжига на шероховатость, механические напряжения и показатель преломления пленок. Показано, что вакуумный отжиг позволяет существенным образом корректировать значения параметров материалов. Установлены условия формирования структур, подходящие для дальнейшего изготовлении метаповерхностей и оптических элементов и систем на их основе. Ключевые слова: метаповерхность, кремний на изоляторе, оксид кремния, плазмохимическое осаждение.

М.А. Ремнев, В.В. Климов. УФН 188, 169 (2018). DOI: 10.3367/UFNr.2017.08.038192 [M.A. Remnev, V.V. Klimov. Phys. Usp. 61, 157 (2018)]. DOI: 10.3367/UFNe.2017.08.038192)
A.M. Shaltout, A.V. Kildishev, V.M. Shalaev. J. Opt. Soc. Am. B 33, 2, 501 (2016). DOI: 10.1364/JOSAB.33.000A21
J. Yang, S. Gurung, S. Bej, P. Ni, H.W.H. Lee. Rep. Prog. Phys. 85, 3, 036101 (2022). DOI: 10.1088/1361-6633/ac2aaf
X. Zeng, Y. Zhang, R. Zhang, X. Ren, Z. Zhan, M. Gu, R. Sun, C. Liu, С. Cheng. Opt. Lett. 46, 3, 528 (2021). DOI: 10.1364/OL.415981
M. Liu, Q. Fan, L. Yu, T. Xu. Opt. Express 27, 8, 10738 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.010738
H. Chen, Z. Wu, Z. Li, Z. Luo, X. Jiang, Z. Wen, L. Zhu, X. Zhou, H. Li, Z. Shang, Z. Zhang, K. Zhang, G. Liang, S. Jiang, L. Du, G. Chen. Opt. Express 26, 23, 29817 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.029817
C.A. Dirdal, G.U. Jensen, H. Angelsk r, P.C.V. Thrane, J. Gjessing, D.A. Ordnung. Opt. Express 28, 10, 15542 (2020). DOI: 10.1364/OE.393328
F. Zhao, Z. Li, S. Li, X. Dai, Y. Zhou, X. Liao, J.C. Cao, G. Liang, Z. Shang, Z. Zhang, Z. Wen, H. Li, G. Chen. Photon. Res. 10, 4, 886 (2022) DOI: 10.1364/PRJ.439481
B.A. Slovick, Y. Zhou, Z.G. Yu, I.I. Kravchenko, D.P. Briggs, P. Moitra, S. Krishnamurthy, J. Valentine Phil. Trans. R. Soc. A 375, 20160072 (2017). DOI: 10.1098/rsta.2016.0072
M.I. Shalaev, J. Sun, A.T., A. Pandey, K. Nikolskiy, N.M. Litchinitser. Nano Lett. 15, 6261 (2015). DOI: 10.1021/acs.nanolett.5b02926
E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, S.P. Avdeev, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser. 1124, 022034 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1124/2/022034
E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, O.A. Ageev. Mater. Phys. Mech. 37, 1, 67 (2018). DOI: 10.18720/MPM.3712018_9
N. Wostbrock, T. Busani. Nanomaterials 10, 11, 2105 (2020). DOI: 10.3390/nano10112105
E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, A.A. Geldash, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser. 917, 3, 032029 (2017). DOI: 10.1088/1742-6596/917/3/032029

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель