Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Разработка технологии плазмохимического осаждения фосфида бора при низкой температуре

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56759.5207k

РНФ, 21-79-10413

Максимова А.А.^1,2, Уваров А.В.^1,2, Вячеславова Е.А.^1,2, Баранов А.И.^1,2, Гудовских А.С.^1,2

¹Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия Alferov Federal State Budgetary Institution of Higher Education and Science Saint Petersburg National Research Academic University of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Alferov Federal State Budgetary Institution of Higher Education and Science Saint Petersburg National Research Academic University of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

²Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Email: maksimova_alina@spbau.ru

Поступила в редакцию: 19 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 17 июля 2023 г.

Принята к печати: 30 октября 2023 г.

Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Впервые было проведено осаждение фосфида бора на кремниевые подложки методом плазмохимического осаждения при низкой температуре (350^oC). В качестве прекурсоров были использованы: газовая смесь диборана (B₂H₆/H₂) и чистый фосфин (PH₃). Спектры комбинационного рассеяния исходных образцов показали уширенные пики при 450 cm^-1 и ~700 cm^-1 соответствующие аморфному фосфиду бора. Быстрый термический отжиг образцов при температуре 700^oC оказал влияние на структуру слоев и привел к частичной кристаллизации, был детектирован пик кристаллического фосфида бора при 823 cm^-1. Ключевые слова: фосфид бора, плазмохимическое осаждение, растровая электронная микроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния.

M. Neuberger. III--V Semiconducting Compounds. Springer, Boston (1971)
J.B. Varley, A. Miglio, V.-A. Ha, M.J. van Setten, G.-M. Rignanese, G.Hautier. Chem. Mater. 29, 6, 2568 (2017)
S.W. King, M. French, M. Jaehnig, M. Kuhn, G. Xu. ECS J. Solid State Sci. Technol. 1, 5, P250 (2012)
А.С. Гудовских, Д.А. Кудряшов, А.И. Баранов, А.В. Уваров, И.А. Морозов. Письма в ЖТФ 47, 2, 49 (2021)
S. Nishimura, H. Hanamoto, K. Terashima, S. Matsumoto. Mater. Sci. Eng. B 93, 1-3, 135 (2002)
J.K.C. Abbott, J.D. Brasfield, P.D. Rack, G.J. Duscher, C.S. Feigerle. MRS Proceed. 1432, 65 (2012)
M. Odawara, T. Udagawa, G. Shimaoka. Appl. Surf. Sci. 244, 1-4, 289 (2005)
Z.C. Jia, J.Q. Zhu, C.Z. Jiang, W.X. Shen, J.C. Han, R.R. Chen. Appl. Surf. Sci. 258, 356 (2011)
V.-A. Ha, B. Karasulu, R. Maezono, G. Brunin, J.B. Varley, G.-M. Rignanese, B. Monserrat, G. Hautier. Phys. Rev. Mater. 4, 065401 (2020)
V.L. Solozhenko, O.O. Kurakevych, Y. Le Godec, A.V. Kurno\=sov, A.R. Oganov, J. Appl. Phys. 116, 3, 033501 (2014)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель