Гальваномагнитные свойства слоев GaMnAs, полученных ионной имплантацией: роль энергии ионов Mn+
Российский научный фонд, 23-29-00312
Данилов Ю.А.1, Быков В.А.1, Вихрова О.В.1, Здоровейщев Д.А.1, Калентьева И.Л.1, Крюков Р.Н.1, Парафин А.Е.2, Агафонов Ю.А.3, Зиненко В.И.3, Баталов Р.И.4, Валеев В.Ф.4, Нуждин В.И.4
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Институт проблем технологии микроэлектроники и высокочистых материалов РАН, Черноголовка, Россия
4Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: vikhrova@nifti.unn.ru, Danilov.Yu46@yandex.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 18 апреля 2024 г.
Принята к печати: 8 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 18 июня 2024 г.
Изучены гальваномагнитные свойства слоев GaMnAs, полученных имплантацией ионов Mn+ с последующим импульсным лазерным отжигом. Установлено оптимальное значение плотности энергии импульса эксимерного KrF-лазера (~300 mJ/cm2) для электрической активации имплантированных атомов Mn. Показано, что слои, сформированные с дозой (3-5)·1016 cm-2, после лазерного отжига являются ферромагнитными, а энергия имплантации практически не влияет на температуру Кюри. Установлено, что ширина петли гистерезиса в аномальном эффекте Холла сильно зависит от энергии имплантации: коэрцитивное поле уменьшается со снижением энергии ионов от 200 до 40 keV. Ключевые слова: арсенид галлия, имплантация ионов Mn, лазерный отжиг, аномальный эффект Холла, ферромагнетизм.
- T. Dietl, H. Ohno. Rev. Mod. Phys. 86, 1, 187 (2014)
- P.J. Wellmann, J.M. Garcia, J.-L. Feng, P.M. Petroff. Appl. Phys. Lett. 73, 22, 3291 (1998)
- M.A. Scarpulla, O.D. Dubon, K.M. Yu, O. Monteiro; M.R. Pillai; M.J. Aziz, M.C. Ridgway. Appl. Phys. Lett. 82, 8, 1251 (2003)
- S. Zhou. J. Phys. D 48, 26, 263001 (2015)
- Ю.А. Данилов, Ю.А. Агафонов, В.И. Бачурин, В.А. Быков, О.В. Вихрова, В.И. Зиненко, И.Л. Калентьева, А.В. Кудрин, А.В. Нежданов, А.Е. Парафин, С.Г. Симакин, П.А. Юнин, А.А. Яковлева. ФТТ 65, 12, 2230 (2023). [Yu.A. Danilov, Yu.A. Agafonov, V.I. Bachurin, V.A. Bykov, O.V. Vikhrova, V.I. Zinenko, I.L. Kalentyeva, A.V. Kudrin, A.V. Nezhdanov, A.E. Parafin, S.G. Simakin, P.A. Yunin, A.A. Yakovleva. Phys. Solid State 65, 12, 2138 (2023)]
- K.Y. Wang, K.W. Edmonds, R.P. Campion, L.X. Zhao, C.T. Foxon, B.L. Gallagher. Phys. Rev. B 72, 8, 085201 (2005)
- А.В. Кудрин, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов. Письма в ЖТФ 36, 11, 46 (2010). [A.V. Kudrin, O.V. Vikhrova, Yu.A. Danilov. Tech. Phys. Lett. 36, 6, 511 (2010)]
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids. Pergamon Press, N.Y.(1985)
- W.L. Lim, X. Liu, K. Dziatkowski, Z. Ge, S. Shen, J.K. Furdyna, M. Dobrowolska. J. Appl. Phys. 99, 8, 08D505 (2006)
- J. Daeubler, S. Schwaiger, M. Glunk, M. Tabor, W. Schoch, R. Sauer, W. Limmer. Physica E 40, 6, 1876 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.